QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
QuickPRO-CUBE非接觸式雙表面輪廓儀
QuickPRO-CUBE非接觸式雙表面輪廓儀
產(chǎn)品介紹:
專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計,如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡:
?非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器
?高精度對中/傾斜工作臺,帶可調(diào)壓電桿探頭,可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具
?納米編碼C/R/Z (旋轉(zhuǎn), 徑向, 垂直)運動,具有直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)-空氣軸承 (C軸)和直接驅(qū)動線性機械軸承(R&Z軸)
?花崗巖底座,具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架
示例數(shù)據(jù):
?樣品是具有衍射功能的DPT非球面
?在QuickPRO-RPS上測量
?移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)
- 非球面凹陷約為800μm
- 衍射臺階高度約為1μm


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已咨詢389次彩色共聚焦輪廓儀
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已咨詢182次水質(zhì)/營養(yǎng)鹽測量及在線監(jiān)測
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已咨詢83次粉碎/混合/分散
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已咨詢849次水體環(huán)境分析
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已咨詢1789次旋轉(zhuǎn)分樣儀
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已咨詢184次水生植物和藻類生理生態(tài)研究
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已咨詢157次
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已咨詢189次
Zeta-300支持3D量測和成像的功能,并提供整合隔離工作臺和靈活的配置,可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù),可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學(xué)系統(tǒng)以及加強視頻控制。
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。