三維形貌儀通過集成一對單點(diǎn)，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動，QuickPRO-CUBE?捕獲同步的前，后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形，用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的...

- 表面紋理與形狀參數(shù)如各種標(biāo)準(zhǔn)的面粗糙度、線粗糙度、距離&角度測量、臺階高度、面面角度差、方向&斜率。 - 圖形&紋理單元的檢測分析、顆粒&凸起&凹洞&...

QuickOCT-4D? 將單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動控制平臺相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平...

晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運(yùn)動模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶...

晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機(jī)。

晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機(jī)使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運(yùn)動模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、...

Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。

適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器），為在線過程測量和控制而設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z...

專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計(jì)，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡

白光干涉儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。