目前有許多顆粒表征技術(shù)被用來測量CMP 漿體中顆粒的大小和濃度。光散射技術(shù)包括動(dòng)態(tài)光散射（DLS）和激光衍射可以測量分布的大小和寬度，但不能提供任何有用的濃度信息。單粒子光學(xué)傳感技術(shù)（SPOS）測量一個(gè)粒子通過狹窄的測量室，提供精確的尺寸和濃度（粒子/ml）結(jié)果。由于粒子是單獨(dú)測量的，這項(xiàng)技術(shù)天生就具有很高的分辨率，甚至可以從主要分布中檢測到很少的單個(gè)粒子。因此，它是檢測LPC 的理想技術(shù)，而LPC 是CMP 漿料中

Z麻煩的。

       有些儀器zui好在實(shí)驗(yàn)室中使用，而另一些儀器，如SPOS，可以在實(shí)驗(yàn)室和在線使用點(diǎn)同時(shí)使用。