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納米壓痕是一種測量材料力學(xué)性能的技術(shù)，它用 一個確定形狀的壓頭或探針在一定的載荷下壓入待測 的表面。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于納米尺度下測量塊體材 料或鍍層的硬度和彈性模量，尤其是晶態(tài)金屬材料。 壓痕過程的一個副作用是，壓痕材料可以在壓痕周 圍“堆積”或“下沉”。這種堆積和下沉效應(yīng)會引起對接觸 面積的不正確估計，從而導(dǎo)致通過傳統(tǒng)的Oliver–Pharr 方法計算的力學(xué)性能被高估或低估。
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