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納米壓痕被廣泛用在研究材料小體積的機(jī)械性能, 包括硬度和彈性模量。不同商用壓頭的針尖幾何體 如玻氏或維氏被用來(lái)實(shí)施測(cè)量。由于即便是金剛石 針尖在大量壓痕測(cè)試周期后也會(huì)磨損,因此針尖幾 何結(jié)構(gòu)對(duì)幾十納米范圍的小壓痕深度的測(cè)量準(zhǔn)確性 有直接影響。一般來(lái)說(shuō),參考?jí)汉蹣悠啡缛廴谑? 能夠被用來(lái)校正壓頭形狀和重構(gòu)針尖/面積函數(shù)。但 是這是一種獲得針尖/面積函數(shù)的非直接的方法。因 此為了確定針尖/面積函數(shù),研究人員用AFM成像和 測(cè)量來(lái)表征壓頭。這里,我們用專為科研和工業(yè)應(yīng) 用設(shè)計(jì)的優(yōu)質(zhì)AFM Tosca? 400,來(lái)對(duì)玻氏金剛石納米 壓頭針尖成像和表征它的真實(shí)幾何結(jié)構(gòu)。
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