"全文請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：http://www.spm.com.cn/papers/p51.pdf
利用XRDXPSAES分析了As＋B+離子注入后的硅的表明成分結(jié)構(gòu)和化學(xué)狀態(tài)，并通過(guò)AFM/FFM和SRV實(shí)驗(yàn)測(cè)量了As＋B+離子注入硅的微觀摩擦和宏觀摩擦磨損性能結(jié)果表明，As＋B+離子注入后，單晶硅表明仍呈晶態(tài)，表面粘著力微觀及宏觀摩擦系數(shù)增大，同時(shí)耐磨損能力增強(qiáng)微觀與宏觀摩擦磨損特性的規(guī)律基本一致 全文請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：http://www.spm.com.cn/papers/p51.pdf" 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)