問題：真空腔體如何檢漏

原因：真空腔體存在很多的焊接面和法蘭面，如果焊接不良或者法蘭面夾雜異物等原因，就會(huì)造成真空腔體的泄漏。

解決方案：為了查明泄漏點(diǎn)和具體漏率，將歌博科技氦質(zhì)譜檢漏儀（下稱檢漏儀）通過波紋管連接在真空腔體上。對腔體進(jìn)行抽空檢漏（注：若腔體體積較大，可能需要添加輔抽泵對腔體抽空，提高工作效率），在真空腔體表面從上到下噴氦，氦氣會(huì)通過漏孔進(jìn)入到腔體內(nèi)部，Z終被檢漏儀檢測到。因?yàn)榍惑w內(nèi)部是真空狀態(tài)，不受空氣中氦氣本底的影響，所以檢測精度Z高可以達(dá)到10-13 Pa·m3·s-1，完全可以滿足客戶生產(chǎn)需求。

標(biāo)簽：真空腔體檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢漏儀