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2024-12-27 17:18:06?掩膜直寫光刻系統(tǒng)
無掩膜直寫光刻系統(tǒng)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備，它采用激光直寫技術(shù)，無需傳統(tǒng)光刻中的掩膜板，可直接將設(shè)計(jì)圖案寫入硅片表面。該系統(tǒng)具有高精度、高效率、低成本及靈活性強(qiáng)等優(yōu)勢，能夠快速適應(yīng)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的變更，縮短研發(fā)周期。它廣泛應(yīng)用于集成電路、微納電子、光電子等領(lǐng)域，是實(shí)現(xiàn)芯片小型化、集成化、個(gè)性化的關(guān)鍵技術(shù)之一。通過無掩膜直寫，可大幅提升光刻工藝的靈活性和生產(chǎn)效率。

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2023-06-14 16:49:45無掩膜直寫光刻系統(tǒng)助力二維材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)電輸運(yùn)性能研究，意大利
期刊：ACS NanoIF：18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131 【引言】      MoS2是一種典型的二維材料，也是電子器件的重要組成部分。研究者發(fā)現(xiàn)，當(dāng)MoS2與石墨烯接觸會(huì)產(chǎn)生van der Waals作用，使之具有良好的電學(xué)特性，可廣泛應(yīng)用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而，MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)背后的電輸運(yùn)機(jī)理尚不明確。這主要是因?yàn)閭鹘y(tǒng)器件只有兩個(gè)接觸點(diǎn)，不能將MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的電學(xué)輸運(yùn)特性與二維材料自身的電學(xué)特性所區(qū)分。此外，電荷轉(zhuǎn)移、應(yīng)變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會(huì)對(duì)器件的電輸運(yùn)性能產(chǎn)生影響，進(jìn)一步提高了相關(guān)研究的難度。盡管已有很多文獻(xiàn)報(bào)道MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能，但這些研究主要基于理論計(jì)算，缺乏對(duì)MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能在場效應(yīng)器件中的實(shí)驗(yàn)研究。 【成果簡介】     2021年，意大利比薩大學(xué)Ciampalini教授課題組利用小型臺(tái)式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多場效應(yīng)管器件，在場效應(yīng)管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)特性。通過比較MoS2的跨導(dǎo)曲線和石墨烯的電流電壓特性，發(fā)現(xiàn)在n通道的跨導(dǎo)輸運(yùn)被抑制，這一現(xiàn)象明顯不同于傳統(tǒng)對(duì)場效應(yīng)的認(rèn)知。借助第一性原理計(jì)算發(fā)現(xiàn)這一獨(dú)特的輸運(yùn)抑制現(xiàn)象與硫空位相關(guān)。     本文中所使用的小型臺(tái)式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3無需掩膜版，可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設(shè)備采用集成化設(shè)計(jì)，全自動(dòng)控制，可靠性高，操作簡便，同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊（70cm X 70cm X 70cm）、高直寫速度，高分辨率（XY：
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2023-06-29 10:11:54無掩膜直寫光刻系統(tǒng)助力二維材料異質(zhì)結(jié)構(gòu)電輸運(yùn)性能研究，意大利科學(xué)家揭秘其機(jī)理！
期刊：ACS NanoIF：18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131引言MoS2是一種典型的二維材料，也是電子器件的重要組成部分。研究者發(fā)現(xiàn)，當(dāng)MoS2與石墨烯接觸會(huì)產(chǎn)生van der Waals作用，使之具有良好的電學(xué)特性，可廣泛應(yīng)用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而，MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)背后的電輸運(yùn)機(jī)理尚不明確。這主要是因?yàn)閭鹘y(tǒng)器件只有兩個(gè)接觸點(diǎn)，不能將MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的電學(xué)輸運(yùn)特性與二維材料自身的電學(xué)特性所區(qū)分。此外，電荷轉(zhuǎn)移、應(yīng)變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會(huì)對(duì)器件的電輸運(yùn)性能產(chǎn)生影響，進(jìn)一步提高了相關(guān)研究的難度。盡管已有很多文獻(xiàn)報(bào)道MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能，但這些研究主要基于理論計(jì)算，缺乏對(duì)MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)性能在場效應(yīng)器件中的實(shí)驗(yàn)研究。成果簡介2021年，意大利比薩大學(xué)Ciampalini教授課題組利用小型臺(tái)式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多場效應(yīng)管器件，在場效應(yīng)管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電輸運(yùn)特性。通過比較MoS2的跨導(dǎo)曲線和石墨烯的電流電壓特性，發(fā)現(xiàn)在n通道的跨導(dǎo)輸運(yùn)被抑 制，這一現(xiàn)象明顯不同于傳統(tǒng)對(duì)場效應(yīng)的認(rèn)知。借助第 一性原理計(jì)算發(fā)現(xiàn)這一獨(dú)特的輸運(yùn)抑 制現(xiàn)象與硫空位相關(guān)。本文中所使用的小型臺(tái)式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3無需掩膜版，可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設(shè)備采用集成化設(shè)計(jì)，全自動(dòng)控制，可靠性高，操作簡便，同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊（70cm X 70cm X 70cm）、高直寫速度，高分辨率（XY：
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2019-10-18 10:47:51小型無掩膜光刻直寫系統(tǒng)（MicroWriter）
    小型臺(tái)式無掩膜光刻直寫系統(tǒng)（MicroWriter ML3）是英國Durham Magneto Optics公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā)，為微流控、MEMS、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便GX的微加工方案。傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法，克服了這一問題。與通過物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制DMD微鏡矩陣開關(guān)，經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)調(diào)制，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。同時(shí)其還具備結(jié)構(gòu)緊湊（70cm X 70cm X 70cm）、高直寫速度，高分辨率（XY：圖8. CsPbBr3 PNC/monolayer MoS2異質(zhì)結(jié)光電器件的制備流程，紅色框所示為利用無掩膜激光直寫系統(tǒng)（MicroWriter）所制備電極結(jié)構(gòu)示意 圖9. （左）利用MicroWriter制備的MoS2基器件的I-V特性曲線，其中所示單層MoS2形貌及表面電極；（右）MicroWriter虛擬掩膜功能（VMA）結(jié)果示意
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2025-01-09 12:45:13玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀怎么用
玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀怎么用：全面解析與操作指南 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀是一種專業(yè)的測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于玻璃材料以及其他薄膜材料的熱傳導(dǎo)性能測試。隨著科技的不斷發(fā)展，玻璃膜在建筑、汽車、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用。為了確保其在不同環(huán)境下的表現(xiàn)，測試其熱傳導(dǎo)性能成為了至關(guān)重要的一環(huán)。本文將詳細(xì)介紹玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的使用方法，幫助您理解如何正確操作這一設(shè)備，以獲得準(zhǔn)確的測試結(jié)果。 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的基本結(jié)構(gòu)與原理 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀的主要功能是測定薄膜材料的熱導(dǎo)率。它通常由溫度傳感器、加熱裝置、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。測試原理基于熱傳導(dǎo)的基本定律，通過加熱玻璃膜的一個(gè)表面，監(jiān)測另一表面的溫度變化，進(jìn)而計(jì)算出熱導(dǎo)率。設(shè)備的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是保證測試結(jié)果可靠性的關(guān)鍵因素。 如何使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀 準(zhǔn)備工作 在使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀之前，首先要確認(rèn)設(shè)備的校準(zhǔn)情況。確保傳感器、加熱模塊和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)正常工作。然后，選擇合適的玻璃膜樣品，清潔其表面以避免污染物影響測試結(jié)果。 安裝樣品 將玻璃膜樣品安裝在測試儀的測試平臺(tái)上。樣品的位置需要固定，避免在測試過程中發(fā)生位移。通常測試儀會(huì)提供一對(duì)加熱和冷卻設(shè)備，用于模擬不同的溫度差，確保熱量傳導(dǎo)的測試環(huán)境準(zhǔn)確。 設(shè)置測試參數(shù) 根據(jù)需要測試的材料和實(shí)驗(yàn)條件，設(shè)置相應(yīng)的測試參數(shù)。這包括設(shè)定初始溫度、加熱時(shí)間、溫度梯度等。在設(shè)置過程中要特別注意溫度的均勻性，以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。 啟動(dòng)測試 啟動(dòng)測試程序后，測試儀將開始加熱樣品，并實(shí)時(shí)監(jiān)控另一側(cè)的溫度變化。根據(jù)測試儀的類型，數(shù)據(jù)可能會(huì)實(shí)時(shí)顯示在設(shè)備的屏幕上，或者通過軟件進(jìn)行記錄。部分高端設(shè)備還提供自動(dòng)分析功能，直接給出熱導(dǎo)率的數(shù)值。 數(shù)據(jù)分析與結(jié)果輸出 測試完成后，可以通過設(shè)備的內(nèi)置軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步分析。通常，熱導(dǎo)率的結(jié)果會(huì)以數(shù)值的形式輸出，您可以根據(jù)這些數(shù)據(jù)評(píng)估玻璃膜的熱導(dǎo)性能。部分設(shè)備還會(huì)生成測試報(bào)告，方便存檔和對(duì)比分析。 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試的注意事項(xiàng) 在使用玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀時(shí)，有幾個(gè)關(guān)鍵的注意事項(xiàng)需要特別關(guān)注： 樣品選擇：確保樣品的厚度和表面狀況符合測試要求。表面不平整或有氣泡的樣品可能導(dǎo)致誤差。 環(huán)境溫度：測試過程中，環(huán)境溫度的變化可能影響測試結(jié)果，最好在穩(wěn)定的環(huán)境下進(jìn)行測試。 設(shè)備校準(zhǔn)：定期對(duì)測試儀進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。 結(jié)論 玻璃膜熱傳導(dǎo)測試儀在現(xiàn)代工業(yè)中具有重要的應(yīng)用價(jià)值，能夠精確評(píng)估玻璃膜等薄膜材料的熱傳導(dǎo)性能。正確使用該設(shè)備，不僅能夠提高測試效率，還能為材料性能優(yōu)化提供科學(xué)依據(jù)。掌握設(shè)備的使用方法和操作技巧，對(duì)于專業(yè)人員在進(jìn)行熱傳導(dǎo)測試時(shí)至關(guān)重要。
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2025-03-11 13:30:14膜片式壓力表參數(shù)有哪些？
膜片式壓力表參數(shù) 膜片式壓力表是一種常見的壓力測量儀器，廣泛應(yīng)用于工業(yè)、化工、食品加工等多個(gè)領(lǐng)域。其通過測量膜片的變形來判斷被測介質(zhì)的壓力大小。為了確保膜片式壓力表的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性，選擇合適的參數(shù)至關(guān)重要。本文將詳細(xì)介紹膜片式壓力表的關(guān)鍵參數(shù)及其對(duì)測量結(jié)果的影響，幫助用戶在實(shí)際應(yīng)用中做出科學(xué)合理的選擇。 一、膜片式壓力表的工作原理與特點(diǎn) 膜片式壓力表的核心部分是一個(gè)彈性膜片，這個(gè)膜片安裝在壓力表的測量腔內(nèi)，當(dāng)外部壓力作用于膜片時(shí)，膜片會(huì)發(fā)生一定的變形。這個(gè)變形通過杠桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)換成機(jī)械指針的位移，顯示在表盤上。膜片式壓力表具有響應(yīng)靈敏、結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)性強(qiáng)等特點(diǎn)，尤其適用于低壓、密閉環(huán)境下的壓力測量。 二、膜片式壓力表的主要參數(shù) 量程范圍 量程是壓力表基本的參數(shù)之一，表示壓力表能夠測量的壓力范圍。膜片式壓力表的量程通常從幾百Pa到數(shù)百兆帕不等。用戶在選擇時(shí)需要根據(jù)實(shí)際測量的壓力范圍選擇合適的量程，過大的量程可能導(dǎo)致測量誤差，過小的量程可能導(dǎo)致無法承受較高壓力。 精度等級(jí) 精度等級(jí)是評(píng)定壓力表測量精度的重要指標(biāo)。一般情況下，膜片式壓力表的精度等級(jí)為1.0、1.6、2.5等，精度等級(jí)越小，表示壓力表的測量誤差越小。選購時(shí)，應(yīng)根據(jù)實(shí)際測量要求和精度需求來選擇適合的精度等級(jí)。 接液材料 膜片式壓力表的接液部分直接與被測介質(zhì)接觸，因此接液材料的選擇非常關(guān)鍵。常見的接液材料有不銹鋼、銅合金、鋁合金等。對(duì)于腐蝕性較強(qiáng)的介質(zhì)，應(yīng)選擇耐腐蝕性較好的材料，確保長期使用中的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。 工作溫度 膜片式壓力表的工作溫度范圍通常在-20℃至+60℃之間，但具體范圍可能會(huì)根據(jù)不同型號(hào)有所不同。過高或過低的溫度會(huì)影響膜片的變形程度，進(jìn)而影響測量精度。因此，在極端溫度環(huán)境下使用時(shí)，必須選擇具有特殊耐溫性能的膜片式壓力表。 連接方式 膜片式壓力表的連接方式可以分為多種類型，如螺紋連接、法蘭連接等。選擇合適的連接方式需要考慮安裝環(huán)境和介質(zhì)的特點(diǎn)。例如，在高溫高壓環(huán)境下，法蘭連接通常更為牢固可靠。 三、膜片式壓力表的應(yīng)用與選擇要點(diǎn) 在實(shí)際應(yīng)用中，膜片式壓力表廣泛用于測量液體、氣體等介質(zhì)的壓力。其設(shè)計(jì)適應(yīng)性強(qiáng)，特別適合用于具有低壓、脈動(dòng)壓力、低粘度等特性的介質(zhì)測量。選擇膜片式壓力表時(shí)，首先要根據(jù)測量介質(zhì)的特性、工作環(huán)境的溫度及壓力范圍來確定合適的參數(shù)，并且確保壓力表的精度和穩(wěn)定性能夠滿足生產(chǎn)需求。 四、結(jié)論 膜片式壓力表作為一種重要的壓力測量工具，其參數(shù)的選擇直接影響到測量結(jié)果的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。在選擇時(shí)，必須充分考慮量程、精度、接液材料、工作溫度等因素。通過科學(xué)合理的選擇，可以確保膜片式壓力表在實(shí)際應(yīng)用中的佳性能。
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