- 2025-08-27 09:01:06電子束光刻
- 電子束光刻是一種高分辨率的微納加工技術(shù)，利用聚焦的電子束直接在襯底上掃描，通過電子與物質(zhì)的相互作用實現(xiàn)圖案的刻蝕。該技術(shù)具有高分辨率、高精度和直接寫入等優(yōu)點，可應(yīng)用于制造納米級電子器件、光子器件及集成電路等領(lǐng)域。通過精確控制電子束的劑量和掃描路徑，可以制備出復雜且精細的圖案結(jié)構(gòu)，是微納加工領(lǐng)域的一項重要技術(shù)。
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