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德國Sentech 光譜反射膜厚儀 RM 2000

來源:深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司 更新時(shí)間:2025-01-08 17:21:01 閱讀量:3254
導(dǎo)讀:. 在垂直入射角的無接觸、光學(xué)反射測(cè)量,表征薄膜和大塊材料 .光譜范圍從200到1000 nm . 功能強(qiáng)大的、獨(dú)特的分析軟件包FTPadv Expert . 高穩(wěn)定的氘燈和鹵素鎢燈光源 . 高精度的
RM 2000
UV-VIS Spectroscopic Reflectometer
光譜反射膜厚儀

光譜臺(tái)式反射儀 RM 2000 是用于在寬光譜范圍內(nèi)表征薄膜和大塊材料的光學(xué)反射測(cè)量儀器。紫外-可見光光學(xué)反射儀 RM 2000 提供垂直入射角的反射率譜,并通過 FTPadv Expert 軟件、按照樣品參數(shù)例如膜厚、吸收、組分、帶隙、顏色、光譜帶寬等進(jìn)行分析。


主要應(yīng)用是對(duì)透明和吸收襯底上的透明膜、半透明膜的快速、簡便的膜厚測(cè)量。覆蓋了從 2 納米到100 微米的膜厚范圍,借助大容量、可擴(kuò)展的材料數(shù)據(jù)庫、儀器適用于多種材料體系。
RM 2000 測(cè)量反射率的原理是基于測(cè)量反射光強(qiáng)度、并與參比樣片的反射光強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比。參比樣片是儀器交付的一部分。
快速運(yùn)算法則確保實(shí)現(xiàn)光學(xué)測(cè)量、以及高重復(fù)率地計(jì)算膜厚。AutoModeling(自動(dòng)建模)功能可通過快速比較譜線數(shù)據(jù)庫、確定樣品類型。
紫外-可見光反射儀 RM 2000 包括臺(tái)式顯微鏡單元、帶樣片臺(tái)和用于照明、較小樣片光斑、以及探測(cè)反射光的光學(xué)設(shè)置,還包括樣片準(zhǔn)直功能、包括自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡 ACT 和顯微鏡物鏡、用于準(zhǔn)確控制樣片的高度和傾斜度位置。電子機(jī)箱包括內(nèi)置的微控制器和光譜儀。電子機(jī)箱可通過以太網(wǎng) LAN、與任何運(yùn)行 MS Windows 操作系統(tǒng)的新型電腦連接。
紫外-可見光反射儀 RM 2000 可選配計(jì)算機(jī)控制 XY 掃描平臺(tái)、進(jìn)行樣片特性的掃描。掃描測(cè)量軟件可定義任意的測(cè)量圖案、用 2 維或 3 維圖顯示結(jié)果、并實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的統(tǒng)計(jì)。
用戶軟件易于操作、并清晰地呈現(xiàn)測(cè)量結(jié)果。軟件支持單層膜膜厚測(cè)量、也支持對(duì)復(fù)合多層膜的分析。軟件提供預(yù)置的、用戶定義的應(yīng)用程序。
Technical Specifications 技術(shù)指標(biāo)


標(biāo)簽:   德國Sentech 光譜反射膜厚儀 RM 2000 光譜反射膜厚儀 RM 2000 光譜反射膜厚儀

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