bruker布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100
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bruker布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100
具備高性價比的 ContourX-100 光學(xué)輪廓儀為精確的、可重復(fù)的、非接觸式表面測量樹立了新基準。
該系統(tǒng)占地面積小，所采用的簡化方案融合了布魯克幾十年的白光干涉（WLI）創(chuàng)新技術(shù)，具有強大的二維/三維高分辨測量能力。
新一代增強功能包括全新的 5MP 攝像頭和更新平臺，實現(xiàn)更多縫合功能，并新增一個測量模式 USI，提升了精加工表面、厚膜和摩擦學(xué)應(yīng)用測量時的便捷性和靈活性。ContourX-100 堪稱性價比高的臺式系統(tǒng)。
計量能力
ContourX-100 輪廓儀是布魯克40多年來在非接觸式表面計量、表征和成像領(lǐng)域?qū)Ｓ泄鈱W(xué)創(chuàng)新的結(jié)晶。
該系統(tǒng)利用三維 WLI 和二維成像技術(shù)，一次采集可執(zhí)行多次分析。
ContourX-100 在反射率 0.05% 到 100% 的所有表面情況下都能發(fā)揮穩(wěn)定性能。
價值和分析
ContourX-100 臺式可執(zhí)行數(shù)千種自定義分析，并采用布魯克簡單而強大的 VisionXpress 和 Vision64 用戶界面，提升了實驗室和工廠的生產(chǎn)效率。
軟硬件結(jié)合，實現(xiàn)簡便操作下的高效率光學(xué)性能，全面超越同類計量技術(shù)。
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Zeta-300支持3D量測和成像的功能，并提供整合隔離工作臺和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)，可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學(xué)系統(tǒng)以及加強視頻控制。
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
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