Park NX15 功能強(qiáng)大的原子力顯微鏡提高您的生產(chǎn)力
Park NX20 Lite用于晶圓測(cè)量和分析的高性價(jià)比 AFM 系統(tǒng)
Park NX15 功能強(qiáng)大的原子力顯微鏡提高您的生產(chǎn)力
Park NX20 失效分析的理想選擇
Park NX20 失效分析的理想選擇
Park NX20 300mm 用于300毫米晶圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米計(jì)量工具
概覽
功能強(qiáng)大——助力研究如虎添翼
Park NX15不僅非常適合共享實(shí)驗(yàn)室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。合理的價(jià)格和強(qiáng)大的集成功能使其快速成為業(yè)內(nèi)的明星AFM.
便捷的樣品測(cè)量（包含多樣品掃描）
一次可對(duì)多個(gè)樣品自動(dòng)成像
設(shè)計(jì)的多樣本卡盤，一次至多可裝載9個(gè)單獨(dú)樣品（可選）
全電動(dòng)XY樣品臺(tái)行程可達(dá) 150 mm x 150 mm
通過(guò)消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行精 準(zhǔn)的XY掃描
獨(dú)立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器
正交XY掃描
無(wú)需軟件處理即可保留真實(shí)可信的樣品表面形貌信息
真正非接觸模式實(shí)現(xiàn)探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護(hù)
快速的Z伺服速度，實(shí)現(xiàn)真正的非接觸模式
針尖磨損微小化，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量和高分辨率成像
多種模式和選項(xiàng)
全面性的測(cè)量模式和表征方法
可實(shí)現(xiàn)可選配件和升級(jí)擴(kuò)展功能
用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測(cè)量
技術(shù)信息
便捷的樣品測(cè)量（包含多樣品掃描）
Park NX15 多樣品掃描系統(tǒng)
一次可對(duì)多個(gè)樣品自動(dòng)成像
多樣品卡盤，一次可裝載9個(gè)單獨(dú)樣品（可選）
全電動(dòng)XY樣品臺(tái)行程可達(dá) 150 mm x 150 mm
使用電動(dòng)樣品臺(tái)，多樣品掃描可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域同步成像和掃描自動(dòng)化。
以下是它的工作原理：
1.用戶可自定義多個(gè)掃描位置
2. 去開始掃描位置進(jìn)行成像
3. 抬針
4. 將機(jī)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到下一個(gè)用戶定義的坐標(biāo)
5. 下針
6. 重復(fù)掃描
通過(guò)輸入樣品臺(tái)坐標(biāo)，利用兩個(gè)參考點(diǎn)消除樣品偏移，即可精 準(zhǔn)定位多個(gè)掃描位置。該自動(dòng)化功能大大簡(jiǎn)化了繁瑣的手動(dòng)操作流程，提高了工作效率。
無(wú)掃描器弓形彎曲的平直正交XY軸掃描
Park的串?dāng)_消除技術(shù)不僅修正了掃描器弓形彎曲的缺點(diǎn)，還能在不同掃描位置、掃描速率和掃描尺寸條件下進(jìn)行平直正交XY軸掃描。即使是平坦的樣品也不會(huì)出現(xiàn)如光學(xué)平面、各種偏移掃描等背景曲率。因此Park能不懼艱難挑戰(zhàn)，為您在研究中提供高精度的納米測(cè)量。
Park的優(yōu)勢(shì)在于匠心獨(dú)運(yùn)的掃描器架構(gòu)。基于獨(dú)立XY掃描器和Z掃描器設(shè)計(jì)的撓曲結(jié)構(gòu)，能讓您輕松獲得的較高精度納米級(jí)分辨率數(shù)據(jù)。
行業(yè)領(lǐng)跑的低噪聲 Z 探測(cè)器
Park AFM 配備了該領(lǐng)域有效的低噪聲Z探測(cè)器，噪音水平低于0.02 nm,因而達(dá)到了樣品形貌成像精 準(zhǔn)，沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)需校準(zhǔn)的高效率。Park NX系列不僅為您提供高精 準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，更為您大大節(jié)省了時(shí)間成本。
利用低噪聲Z探測(cè)器信號(hào)進(jìn)行形貌成像
Z探測(cè)器噪音水平低于0.02 nm
沒(méi)有邊沿過(guò)沖，無(wú)需額外校準(zhǔn)
只需在工廠校準(zhǔn)一次
樣品：1.2 μm 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階高度
(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)
Non-Contact? 模式可延長(zhǎng)探針壽命、保護(hù)樣品并精 準(zhǔn)測(cè)量
True Non-Contact? 模式是Park原子力顯微鏡系統(tǒng)專有的掃描模式。該模式通過(guò)在掃描過(guò)程中防止針尖和樣品損壞，產(chǎn)生高清的分辨率和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
接觸模式下，針尖在掃描過(guò)程中持續(xù)接觸樣品；輕敲模式下，針尖周期性地接觸樣品；而在非接觸模式下針尖不會(huì)接觸樣品。因此，使用非接觸模式具有幾大優(yōu)勢(shì)。由于針尖銳度得以保持，所以在整個(gè)成像過(guò)程中會(huì)以高分辨率進(jìn)行掃描。非接觸模式下由于針尖不會(huì)直接接觸樣品表面，從而避免了損壞軟樣品。
減少針尖磨損 → 長(zhǎng)時(shí)間高分辨率掃描
無(wú)損式探針- 樣品接觸 → 樣品受損微小化
可滿足各種條件下，對(duì)各種樣品的非接觸式掃描
此外，非接觸模式可以感知探針與樣品原子之間的作用力，甚至可以檢測(cè)到探針接近樣品時(shí)產(chǎn)生的橫向力。因此，在非接觸模式下使用探針可以有效避免撞到樣品表面時(shí)突然出現(xiàn)的高層結(jié)構(gòu)。而接觸模式和輕敲模式只能進(jìn)行探針底端檢測(cè)，很容易受到這種撞擊傷害。
原子力顯微鏡模式
具有擴(kuò)展性的 AFM 解決方案
行業(yè)領(lǐng)跑——支持廣泛的SPM 模式和選項(xiàng)
如今，研究人員需要在不同的測(cè)量條件和樣品環(huán)境下表征廣泛的物理特性。 Park Systems能為您提供廣泛的 SPM 模式、多樣的 AFM 選項(xiàng)以及業(yè)界領(lǐng)跑的選項(xiàng)兼容性和可升級(jí)性，支持多種樣品表征。
Park NX15 擁有廣泛的SPM模式
形貌成像
非接觸
接觸
輕敲
介電/壓電特性
壓電力顯微鏡 (PFM)
高壓PFM
壓電響應(yīng)光譜
磁學(xué)特性
磁力顯微鏡 (MFM)
電學(xué)特性
導(dǎo)電原子力顯微鏡 (C-AFM)
電流-電壓分光鏡
開爾文探針力顯微鏡 (KPFM)
高壓KPFM
掃描電容顯微鏡 (SCM)
掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡 (SSRM)
掃描隧道顯微鏡 (STM)
光電流映射 (PCM)
靜電力顯微鏡 (EFM)
力學(xué)特性
力調(diào)制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕
納米刻蝕
高壓納米刻蝕
納米操縱
橫向力顯微鏡(LFM)
力距 (F/d) 光譜
力容積成像
化學(xué)特性
具有功能化探針的化學(xué)力顯微鏡
納米壓痕
電化學(xué)顯微鏡 (EC-AFM)
技術(shù)參數(shù)
Park NX15 技術(shù)參數(shù)
Flexure guided high-force scanner
Scan range: 15 μm (optional 30 μm)
Single module flexure XY-scanner with closed-loop control
Scan range: 100 μm × 100 μm
Motorized Z stage travel range: 25.5mm,
optional precision encoder for better stage repeatability
Motorized XY stage travel range:
150 mm,
optional precision encoders for better XY stage repeatability
Sample size: Up to 150 mm wafer sample
AFM system control and data acquisition software
Auto mode for quick setup and easy imaging
Manual mode for advanced use and finer scan control
AFM data analysis software
Stand-alone design—can install and analyze data away from AFM
Capable of producing 3D renders of acquired data
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢1138次大樣品原子力顯微鏡
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢606次Park原子力顯微鏡
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢364次陣列式壓力傳感系統(tǒng)
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢281次原子力顯微鏡
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢331次原子力顯微鏡
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2609次
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2257次
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢9231次原子力顯微鏡
在納米尺度研究領(lǐng)域，瑞士Nanosurf公司推出的DriveAFM原子力顯微鏡系統(tǒng)代表了當(dāng)前尖端技術(shù)的巔峰之作。通過(guò)光熱激振（CleanDrive）、直驅(qū)掃描（Direct Drive）和全電動(dòng)控制三大核心技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新，DriveAFM徹底解決了傳統(tǒng)AFM在精度、穩(wěn)定性和跨環(huán)境兼容性上的固有瓶頸，為材料科學(xué)和生命科學(xué)研究提供了前所未有的高精度、高穩(wěn)定性的研究平臺(tái)。
FlexAFM是一款高度通用且靈活穩(wěn)定的原子力顯微鏡，適用于物理、材料科學(xué)及生物科學(xué)等領(lǐng)域。它具有穩(wěn)定的常規(guī)材料學(xué)應(yīng)用性能，并能便捷地與倒置光學(xué)顯微鏡集成用于生物研究，或放置在手套箱中研究二維材料。FlexAFM支持多種操作模式和升級(jí)配件，具備高分辨率成像和探索樣品地形的能力，尤其擅長(zhǎng)處理敏感樣品的電氣特性，是全球眾多科研人員的理想選擇。此外，它還能與外部硬件集成，擴(kuò)展研究功能。對(duì)于生命科學(xué)研究，F(xiàn)lexAFM能夠與倒置顯微鏡聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)在液體環(huán)境中的納米材料、生物分子或細(xì)胞研究。結(jié)合流體力學(xué)探針顯微鏡FluidFM技術(shù)，F(xiàn)lexAFM進(jìn)一步解鎖了單細(xì)胞生物學(xué)和納米科學(xué)的新應(yīng)用。
瑞士Nanosurf 原子力顯微鏡，專為工業(yè)級(jí)高精度與超大樣品而設(shè)計(jì)，將科研級(jí)分辨率與工業(yè)兼容性深度融合，成為半導(dǎo)體量產(chǎn)、新材料研發(fā)及跨學(xué)科微觀表征的強(qiáng)有力工具。
表面形貌是許多高科技材料表面的重要特性,其可能低至幾納米,表面粗糙度不到一納米。原子力顯微鏡可以在正常環(huán)境條件下輕松分析這些特征。
Alphacen 300 原子力顯微鏡系統(tǒng)是一種獨(dú)特的 AFM 解決方案，可以輕松處理大型和重型樣品。它具有Flex-Mount掃描頭，采用針尖掃描的設(shè)計(jì)方式，無(wú)論樣品重量如何，都能實(shí)現(xiàn)高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先進(jìn)的 AFM 控制器，可快速精確地控制掃描過(guò)程，穩(wěn)定成像。專用的隔音罩可減少外部噪音和振動(dòng)的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還可以通過(guò)添加額外移動(dòng)軸或旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行更復(fù)雜的定制，滿足您的特定樣品測(cè)試需求。
Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)。
高精度探針針尖變量的亞埃米級(jí)表面粗糙度測(cè)量，晶圓的表面粗糙度對(duì)于確定半導(dǎo)體器件的性能是至關(guān)重要的，對(duì)于先進(jìn)的元件制造商，芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對(duì)晶圓商超平坦表面進(jìn)行更精確的粗糙度控制。
對(duì)于工程師來(lái)說(shuō)，識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級(jí)缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過(guò)程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別，通過(guò)與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測(cè)效率。
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