高真空顯微鏡NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡
WinSPM EDU掃描探針顯微鏡教學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)
電鏡原位原子力 EM-AFM 電鏡原位原子力顯微鏡
電學(xué)原子力 Nano observer 電學(xué)原子力顯微鏡
可旋轉(zhuǎn)顯微鏡 NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡
全自動(dòng)顯微鏡 NX-HDM 全自動(dòng)缺陷檢測(cè)原子力顯微鏡
Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響，在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而降低對(duì)樣本和針尖的損傷。
如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。
基本技術(shù)參數(shù)
掃描儀 | 光學(xué)顯微鏡 | 樣品臺(tái) |
XY掃描儀：50 μm x 50 μm （100 μm x 100 μm可選） | 物鏡：10x 5M pixel CCD | XY平臺(tái)行程：22 mm x 22mm 樣品大?。?0mm x 50mm，厚度20 mm |
物理信息 | 軟件 | 高真空 |
真空室：300mm x 420mm x 320mm | SmartScan：Park AFM操作軟件 XEI: AFM數(shù)據(jù)分析軟件 Hiva Manager:自動(dòng)真空控制軟件 | 真空等級(jí)：小于 1 x 10-5 torr 泵速：5 min內(nèi)達(dá)到10-5 torr |
主要功能
用于失效分析應(yīng)用的高真空掃描
Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過(guò)高真空SSRM提高的靈敏和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度，更好的可重復(fù)性，還能減少針尖和樣品損傷 ，用戶從而可以在失效分析應(yīng)用中測(cè)量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)強(qiáng)度，
自動(dòng)化特征
用戶所需的輸入操作簡(jiǎn)單，用戶可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。
應(yīng)用
在二維金屬材料電性能方面的研究
C-AFM in Air vs High Vacuum MoS2
在空氣和真空下MoS2 的AFM 圖
相關(guān)文獻(xiàn)
Jonathan Ludwig et al，”Effects of buried grain boundaries in multilayer MoS2”Journal：Nanotechnology, Volume 30, Number 28.
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在納米尺度研究領(lǐng)域，瑞士Nanosurf公司推出的DriveAFM原子力顯微鏡系統(tǒng)代表了當(dāng)前尖端技術(shù)的巔峰之作。通過(guò)光熱激振（CleanDrive）、直驅(qū)掃描（Direct Drive）和全電動(dòng)控制三大核心技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新，DriveAFM徹底解決了傳統(tǒng)AFM在精度、穩(wěn)定性和跨環(huán)境兼容性上的固有瓶頸，為材料科學(xué)和生命科學(xué)研究提供了前所未有的高精度、高穩(wěn)定性的研究平臺(tái)。
FlexAFM是一款高度通用且靈活穩(wěn)定的原子力顯微鏡，適用于物理、材料科學(xué)及生物科學(xué)等領(lǐng)域。它具有穩(wěn)定的常規(guī)材料學(xué)應(yīng)用性能，并能便捷地與倒置光學(xué)顯微鏡集成用于生物研究，或放置在手套箱中研究二維材料。FlexAFM支持多種操作模式和升級(jí)配件，具備高分辨率成像和探索樣品地形的能力，尤其擅長(zhǎng)處理敏感樣品的電氣特性，是全球眾多科研人員的理想選擇。此外，它還能與外部硬件集成，擴(kuò)展研究功能。對(duì)于生命科學(xué)研究，F(xiàn)lexAFM能夠與倒置顯微鏡聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)在液體環(huán)境中的納米材料、生物分子或細(xì)胞研究。結(jié)合流體力學(xué)探針顯微鏡FluidFM技術(shù)，F(xiàn)lexAFM進(jìn)一步解鎖了單細(xì)胞生物學(xué)和納米科學(xué)的新應(yīng)用。
瑞士Nanosurf 原子力顯微鏡，專為工業(yè)級(jí)高精度與超大樣品而設(shè)計(jì)，將科研級(jí)分辨率與工業(yè)兼容性深度融合，成為半導(dǎo)體量產(chǎn)、新材料研發(fā)及跨學(xué)科微觀表征的強(qiáng)有力工具。
表面形貌是許多高科技材料表面的重要特性,其可能低至幾納米,表面粗糙度不到一納米。原子力顯微鏡可以在正常環(huán)境條件下輕松分析這些特征。
Alphacen 300 原子力顯微鏡系統(tǒng)是一種獨(dú)特的 AFM 解決方案，可以輕松處理大型和重型樣品。它具有Flex-Mount掃描頭，采用針尖掃描的設(shè)計(jì)方式，無(wú)論樣品重量如何，都能實(shí)現(xiàn)高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先進(jìn)的 AFM 控制器，可快速精確地控制掃描過(guò)程，穩(wěn)定成像。專用的隔音罩可減少外部噪音和振動(dòng)的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還可以通過(guò)添加額外移動(dòng)軸或旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行更復(fù)雜的定制，滿足您的特定樣品測(cè)試需求。
Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)。
高精度探針針尖變量的亞埃米級(jí)表面粗糙度測(cè)量，晶圓的表面粗糙度對(duì)于確定半導(dǎo)體器件的性能是至關(guān)重要的，對(duì)于先進(jìn)的元件制造商，芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對(duì)晶圓商超平坦表面進(jìn)行更精確的粗糙度控制。
對(duì)于工程師來(lái)說(shuō)，識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級(jí)缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過(guò)程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別，通過(guò)與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測(cè)效率。
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