四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量Zda的等離子蝕刻氣體之一,其組分及混合氣體可廣泛應用于硅二氧化硅氮化硅磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻在電子器件表面清洗太陽能電池的生產(chǎn)激光技術(shù)氣相絕緣低溫制冷泄漏檢驗劑控制宇宙火箭姿態(tài)印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用國外主要發(fā)達國家都有高純四氟化碳的生產(chǎn)隨著我國半導體電子工業(yè)的迅速發(fā)展,四氟化碳的年使用量超過300萬t,并逐年增加,這就帶來了四氟化碳產(chǎn)品的質(zhì)量檢測問題建立一種簡便快捷準確度高的檢測四氟化碳產(chǎn)品的方法,以滿足四氟化碳的迅速發(fā)展高純四氟化碳產(chǎn)品中的H2O2N2CO2C2F6SF6指標是其重要雜質(zhì)指標之一,對這幾種雜質(zhì)進行檢測是進行產(chǎn)品分析的基礎(chǔ),也是四氟化碳產(chǎn)品等級判定的基礎(chǔ)如果在產(chǎn)品檢測時能夠同時將以上雜質(zhì)組分定量分析,將大大提高產(chǎn)品分析的效率據(jù)此本文通過查閱相關(guān)資料,結(jié)合對氣體分析的經(jīng)驗,開展了高純四氟化碳產(chǎn)品中的H2O2N2CO2C2F6SF6雜質(zhì)的同時檢測方法的研究1試驗方法1·1方法簡述氣相色譜法是一種常用的氣體分析方法之一,它具有簡便快捷靈敏度高等優(yōu)點,對于氣態(tài)樣品的檢測 氦離子化氣相色譜儀