擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴散泵是獲得高真空的主要設備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴散泵真空操作規(guī)程

1、對真空系統(tǒng)各部分進行檢查，對系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu)加以熟悉，對真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接加以了解。

2、將放氣閥門關(guān)閉掉，將機械泵啟動，對系統(tǒng)進行抽氣，并且系統(tǒng)各部分隨時通過火花檢漏器進行檢漏。

3、當系統(tǒng)真空度和油擴散泵的前置壓強相同時，對擴散泵進行啟動，將加熱電流慢慢升高到額定值。在對擴散泵進行啟動前，冷卻水必須shou先開。

4、擴散泵正常工作以后，量測系統(tǒng)的真空度采用火花檢漏器來進行判斷，一直到超過1-3e托，才可以對電離真空計進行使用。在使用的時候首先對規(guī)管除氣，之后再對真空度進行測量。

5、對系統(tǒng)進行烘烤去氣處理。對于玻璃系統(tǒng)來說，400-450攝氏度為硬玻璃烘烤溫度。350-400攝氏度為軟玻璃烘烤溫度。去氣時間由具體要求決定，通常一到兩個小時。在結(jié)束去氣之后，真空度依然不能夠達到要求。對于漏氣與否的判斷應當使用電離計記P-t曲線。也能夠采用丙酮、酒精等對可疑處進行涂抹。通過對表針擺動的觀察來對漏孔進行發(fā)現(xiàn)。如果不能夠良好地將氣去掉，應當進一步進行烘烤，來使去氣時間加長。新系統(tǒng)抽氣的時間通常需要比較長才可以使預期的真空度達到。真空度一直上不去，那么就需要對系統(tǒng)設計、安裝合理與否、被抽容器清潔與否、是否有臟物在維修時被帶入，放氣源是否多等其他因素進行留心。