擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。下面就讓小編帶你了解一下擴(kuò)散泵預(yù)防方法。

擴(kuò)散泵預(yù)防方法：

將系統(tǒng)油蒸氣返流消除的具體方法如下：

1、對(duì)操作工藝進(jìn)行改善，調(diào)節(jié)擴(kuò)散泵的加熱功率到zui好功率，防止有泵油爆沸的情況發(fā)生，通常在加熱開始和關(guān)閉過程中，擴(kuò)散泵返流峰值將會(huì)出現(xiàn)，因此能夠使用泵口處的高真空閥門來控制以防止返流。

2、將液氫冷阱或吸附阱加裝于擴(kuò)散泵入口處來對(duì)返流油蒸氣進(jìn)行捕集。

3、對(duì)優(yōu)質(zhì)的擴(kuò)散泵工作液進(jìn)行選用。

4.機(jī)械泵與擴(kuò)散泵切換時(shí)的壓力過渡區(qū)通過對(duì)對(duì)擴(kuò)散泵的啟動(dòng)功率的加大來縮短。

5、返流危險(xiǎn)區(qū)利用對(duì)系統(tǒng)操作工藝的改變或者對(duì)閥門的使用來避開。比如慢慢地開啟一個(gè)根據(jù)預(yù)定速度開啟的高真空閥，使得進(jìn)入擴(kuò)散泵的氣體流量比其zui大排氣還要低獲得保證。并且為了讓擴(kuò)散泵能夠工作，需要讓機(jī)械泵抽速散泵前級(jí)壓力獲得保證。如此就可以使得過渡區(qū)的出現(xiàn)被避開。