到目前為止，獲得高真空的zui為主要以及zui為普遍的工具之一，即為擴散泵，一般指的是油擴散泵。擴散泵為一種次級泵，其需要機械泵來被用作前級泵。油擴散泵為一種真空泵，其通過低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣，1-4e到1-5e帕為此種泵的極限真空，1-e到1-4e為工作壓力范圍。幾十至十幾萬升/秒為抽速范圍。油擴散泵為高真空獲取的主要設(shè)備，其在真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中得到了非常廣泛地應(yīng)用。

擴散泵歷史

1915年，德國物理學(xué)家W.蓋所研究的擴散泵報告被發(fā)表了。

1916年，有冷卻系統(tǒng)位于泵壁的所謂冷凝泵由美國人I.朗繆爾制成。這些泵通過汞蒸氣作為工作介質(zhì)能夠使1-5e帕真空獲得。

1928年，高沸點的石油衍生物被英國人C.D.伯爾奇發(fā)現(xiàn)。

1936年，人工合成油由C.D.?？寺热酥瞥?。在室溫下，這兩種油均有著相當(dāng)?shù)偷娘柡驼魵鈮?。從而將汞替代掉，作為擴散泵的工作液。

由此以后，油擴散泵慢慢地廣泛地應(yīng)用于高真空領(lǐng)域的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗中，并且使高真空技術(shù)的基礎(chǔ)得以奠定。從60年代開始，油擴散泵新的發(fā)展又開始了。

擴散泵主要改進

1、結(jié)構(gòu)的改革

新型油擴散泵在泵口法蘭不發(fā)生改變以及不過分將泵的外形尺寸增大的條件下將泵腔的斷面在法蘭下部突出地擴大，可以增加兩成到四成的抽氣速率。比如將液氮冷卻的大直徑擋油帽與一個大直徑擴散噴嘴等裝設(shè)在此。一般泵的抽氣速率，該泵也有，并且泵的返油徹底地克服了并且比1-8e帕要低清潔超高空能夠被獲得。所以，在清潔超高真空的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗中，油擴散泵又取得重要的地位。

2、放氣量非常小的不銹鋼被采用來作為泵的材料。

3、泵的工作液采用有著較低的飽和蒸氣壓以及較好的熱穩(wěn)定性的油，如聚苯醚和硅油。