到目前為止，獲得高真空的zui為主要以及zui為普遍的工具之一，即為擴散泵，一般指的是油擴散泵。擴散泵為一種次級泵，其需要機械泵來被用作前級泵。油擴散泵為一種真空泵，其通過低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣，1-4e到1-5e帕為此種泵的極限真空，1-e到1-4e為工作壓力范圍。幾十至十幾萬升/秒為抽速范圍。油擴散泵為高真空獲取的主要設備，其在真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中得到了非常廣泛地應用。

擴散泵原理

泵的真空性能直接受到泵油的蒸氣壓的影響。然而油擴散泵所使用的任何泵油均為蒸氣壓不同的多組分的混合物。所以如果想要使得油擴散泵的抽氣和真空性能有所提高，那么泵在工作中需要分餾和凈化泵油。不往高真空工作噴嘴中進入高蒸氣壓組分的油為分餾的主要目的。在工作過程中前級泵持續(xù)地抽除高蒸氣壓組分的油，使油慢慢地變得純凈為凈化目的。由于泵油各組分的蒸發(fā)溫度不一樣，使得它們分別蒸發(fā)在不同的鍋爐面積上為泵油分餾的主要原理。當在有保溫罩部分的泵壁流到工作后冷凝回流的泵油時，通過鍋底環(huán)形加熱器進行加熱,輕餾分的油達到蒸發(fā)溫度就在外層蒸發(fā)并且往低真空工作噴嘴進入。沒有可以蒸發(fā)的某些輕餾分油也由于和其他餾分油相比較占有比較小的比重而在油面上浮著。