擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴散泵結(jié)構(gòu)

噴射噴嘴、冷卻系統(tǒng)、擴散器、加熱器、油鍋、蒸氣導(dǎo)管、擴散噴嘴以及泵體等部分共同組成了油擴散泵。當(dāng)油擴散泵使用前級泵預(yù)抽到比1帕真空還要低的時候，油鍋能夠開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子往蒸氣流中擴散，和定向運動的油蒸氣分子發(fā)生碰撞。所以動量由氣體分子所獲得，與油蒸氣分子運動方向相同的定向流產(chǎn)生。到前級，油蒸氣被冷凝，氣體分子被釋放出來，也就被前級泵抽走而使得抽氣目的達(dá)到。

擴散泵保養(yǎng)注意事項

1、橡膠應(yīng)當(dāng)可靠地在連接密封處進(jìn)行密封。

2、如果暫時不使用擴散泵，在保管期間應(yīng)當(dāng)在室溫保持真空狀態(tài)，防止零件腐蝕以及泵油污染，并且吹凈冷卻水套內(nèi)的剩水。

3、泵的性能在長期的工作以后會慢慢地變壞，應(yīng)當(dāng)對油量是否減少或氧化進(jìn)行檢查，在必要的時候?qū)τ土窟M(jìn)行增加，在對新油進(jìn)行更換時需要清洗以后再烘干。

4、油擴散泵在進(jìn)行安裝或者維修的時候應(yīng)當(dāng)垂直地進(jìn)行放置，使泵芯部件處于正常工作狀態(tài)。

5、在對零件及泵腔進(jìn)行清洗的時候，shou先使用航空汽油清洗，之后使用絲綢蘸yi醚或丙酮進(jìn)行擦洗，并且放到80-100攝氏度下進(jìn)行烘干或者使用電吹風(fēng)進(jìn)行吹干。

6、在清洗結(jié)束以后，根據(jù)順序進(jìn)行裝配，值得注意的是需要使泵芯垂直于泵底并且和泵腔同心得到保持，需要根據(jù)原有的要求將各級噴嘴間隙調(diào)整好。