到目前為止，獲得高真空的zui為主要以及zui為普遍的工具之一，即為擴(kuò)散泵，一般指的是油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵為一種次級泵，其需要機(jī)械泵來被用作前級泵。油擴(kuò)散泵為一種真空泵，其通過低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣，1-4e到1-5e帕為此種泵的極限真空，1-e到1-4e為工作壓力范圍。幾十至十幾萬升/秒為抽速范圍。油擴(kuò)散泵為高真空獲取的主要設(shè)備，其在真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中得到了非常廣泛地應(yīng)用。

擴(kuò)散泵主要問題

油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)的污染物來源如下：

1、抽氣系統(tǒng)中密封材料放氣所導(dǎo)致的污染。尤其是人造橡膠密封圈，密封油脂，潤滑油等，所導(dǎo)致的污染也同樣的嚴(yán)重。

2、當(dāng)泵停了以后將大氣放掉，使得水蒸汽，油煙等在空氣中粘污在真空零部件上，導(dǎo)致了真空系統(tǒng)的污染。

3、前級油封機(jī)械泵油的返流。此問題相當(dāng)?shù)膰?yán)重，當(dāng)入口具有比較高的壓力的時候，在到達(dá)過渡區(qū)壓力時，機(jī)械泵的油蒸汽就能夠直接地往擴(kuò)散泵內(nèi)進(jìn)入，直接地污染系統(tǒng)。機(jī)械泵返油為許多真空工藝過程的污染的來源。當(dāng)將機(jī)械泵停掉時，如果往泵內(nèi)放大氣不及時，能夠直接往擴(kuò)散泵油鍋內(nèi)返還機(jī)械泵油。當(dāng)啟動擴(kuò)散泵時會更加嚴(yán)重地污染系統(tǒng)。

4、zui為重大的污染源為擴(kuò)散泵油蒸汽的返流。

5、在裝配時使用有油的手拿系統(tǒng)中的零部件。使用有油污的手套拿，如此樣粘染的有機(jī)分子能夠造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。