化學(xué)氣相沉積為一種化工技術(shù)，在襯底表面上含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)使得薄膜生成為該技術(shù)的主要方法。近幾十年化學(xué)氣相淀積這種對(duì)無(wú)機(jī)材料進(jìn)行制備的新技術(shù)發(fā)展了起來(lái)?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)在各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料的淀積，新晶體的研制以及物質(zhì)的提純方便得到了非常廣泛地應(yīng)用。這些材料既能夠是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能夠?yàn)镮II-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，并且能夠利用氣相摻雜的淀積過(guò)程來(lái)對(duì)它們的物理功能進(jìn)行精確地控制?；瘜W(xué)氣相淀積已經(jīng)變成無(wú)機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。

化學(xué)氣相沉積應(yīng)用

熱解化學(xué)氣相沉積法合成金剛石薄膜的特點(diǎn)是：

1、薄膜晶粒在某些生長(zhǎng)條件下會(huì)有一定程度的擇優(yōu)取向出現(xiàn)。

2、在多種薄膜組織中，浮凸組織和栗狀組織zui為疏松，而尖角組織zui為致密。

3、zui為粗糙的為尖角組織和栗狀組織，zui為平整的是四方形組織和微晶組織表面。

4、通過(guò)金剛石結(jié)構(gòu)的晶粒組成所有組織的金剛石薄膜，晶粒度在0.1-10微米之間。

5、微細(xì)的金剛石微粉組成聚晶，一定形狀的聚晶組成某些薄膜，單晶或?qū)\晶組成某些金剛石薄膜。

6、組成薄膜的晶粒大部分具有（111）及（100）的習(xí)慣面。

化學(xué)氣相沉積沉淀方法

熱化學(xué)氣相沉積的范圍包含如金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積、氯化物化學(xué)氣相沉積、氫化物化學(xué)氣相沉積等廣泛應(yīng)用的TCVD技術(shù)。