化學(xué)氣相沉積為一種化工技術(shù)，在襯底表面上含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)使得薄膜生成為該技術(shù)的主要方法。近幾十年化學(xué)氣相淀積這種對(duì)無(wú)機(jī)材料進(jìn)行制備的新技術(shù)發(fā)展了起來(lái)?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)在各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料的淀積，新晶體的研制以及物質(zhì)的提純方便得到了非常廣泛地應(yīng)用。這些材料既能夠是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能夠?yàn)镮II-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，并且能夠利用氣相摻雜的淀積過(guò)程來(lái)對(duì)它們的物理功能進(jìn)行精確地控制?；瘜W(xué)氣相淀積已經(jīng)變成無(wú)機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。

化學(xué)氣相沉積應(yīng)用

氣相沉積技術(shù)的應(yīng)用在多種領(lǐng)域均有所涉及。只在對(duì)機(jī)械零件耐磨抗蝕性能的改善方面，其就具有十分廣泛的用途。例如非常高的硬度和耐磨性為如用上述方法制備的TiN，TiC，Ti(CN)等薄膜所具備。能夠說(shuō)高速鋼刀具的一場(chǎng)革命即為在高速鋼刀具上鍍制TiN膜。將1-3微米的TiN膜鍍覆在刀具切削面上能夠使其提高超過(guò)三倍的使用壽命。耐磨層大概在一些發(fā)達(dá)國(guó)家的30%-50%的不重磨刀具中加鍍了。優(yōu)異的耐磨性也在其他金屬氧化物、碳化物、氮化物、立方氮化硼、類金剛石等膜，以及各種復(fù)合膜有所表現(xiàn)。良好的潤(rùn)滑、減磨效果為PVD和CVD法制備的Ag，Cu，Culn，AgPb等軟金屬及合金膜尤其是用濺射等方法鍍制的MoS2，WS2及聚四氟乙烯膜等所具有。氣相沉積獲得的Al2O3，TiN等薄膜有著較為良好的耐蝕性，能夠當(dāng)作一些基體材料的保護(hù)膜，含有鉻的非晶態(tài)膜具有更加高的耐蝕性。在航空工業(yè)的零件上，電鍍制品已經(jīng)被部分離子鍍Al，Cu，Ti等薄膜所替代。在生產(chǎn)種已經(jīng)應(yīng)用多種用真空鍍膜制備的抗熱腐蝕合金鍍層及進(jìn)而發(fā)展的熱障鍍層。