適用于3英寸晶圓的劃片
劃片機(jī) 100是一款獨(dú)特的設(shè)備，設(shè)計(jì)用于劃分精密模具，例如GaAs和硅芯片。劃片機(jī) 100非常靈活，使用劃線和斷裂順序，使成品模具保持清潔，不受損壞。 在斷開(kāi)模式期間，當(dāng)線性刀升高以沿著芯線斷裂時(shí)，劃片機(jī) 100使用聚酯薄膜來(lái)保持模具。薄膜可防止模具受到污染或壓力。所有參數(shù)均由控制鍵盤(pán)設(shè)定，設(shè)備堅(jiān)固耐用，無(wú)振動(dòng)，操作簡(jiǎn)單，無(wú)需過(guò)多培訓(xùn)。

磨削頭

? Z軸驅(qū)動(dòng)，可調(diào)節(jié)角度

?可調(diào)節(jié)劃線力從3gr到50gr; 恒重

?金剛石工具：可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)

?刀具偏置，十字準(zhǔn)線

晶圓

?晶圓片直徑3''

?晶粒尺寸：最小200μm，方形ZD10mmx10mm

?晶圓厚度：100μm及以上

?手動(dòng)旋轉(zhuǎn)90度

?通過(guò)微米螺絲旋轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)

?X Y軸/分辨率1μm

?通過(guò)漸進(jìn)式操縱桿控制運(yùn)動(dòng)

視覺(jué)系統(tǒng)

?光學(xué)放大倍率（1至4倍），與其他應(yīng)用兼容

?校準(zhǔn)：可編程區(qū)域/手動(dòng)

?TFT監(jiān)視器17'和CCD彩色高清攝像機(jī)

?目標(biāo)發(fā)生器

?LED照明

斷路器

?斷路模式：操作員控制或自動(dòng)

?斷開(kāi)模式：使用頂部聚脂薄膜表面和底部切割器

?聚酯薄膜：可清除以避免污染

?目標(biāo)發(fā)生器

?LED照明

參數(shù)

?步驟指數(shù)

?Y劃線速度從0.1至20 mm / sec

?劃線長(zhǎng)度可編程

?重復(fù)劃線

?劃線數(shù)量

?元件編號(hào)

?觸地速度

?切割速度

技術(shù)規(guī)格

功率：100 / 230VAC，500watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。