ACCμRA 100
法國SET的鍵合壓力控制在不同的范圍內(nèi)采用了不同的高精度壓力傳感器,確保了在不同的壓力范圍內(nèi),都能夠得到ZJ的壓力控制精度。
Applications
? Laser diode, laser bar ? VCSEL, photo diode
? LED
? Prisms, lenses, mirrors ? Micro assembly
? Flip-chip bonding, die bonding
? Chip-to-chip, chip-to-substrate bonding
Specifications
? Accuracy* ±0.5 μm
?Post-bond accuracy: +/- 1 μm
?Range of force :20 g to 100kg
?Temperature up to 450°C
Independent heating for chip and substrate
?High resolution vertical movement
74 mm, resolution 0.05μm Driven by brushless motor
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已咨詢4170次半導體參數(shù)分析儀
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已咨詢3272次半導體參數(shù)分析儀
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已咨詢2790次半導體參數(shù)分析儀
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已咨詢2218次SET鍵合機
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已咨詢663次激光設備
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已咨詢392次晶圓鍵合機
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已咨詢4305次晶圓原位對準鍵合機
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已咨詢378次晶圓鍵合機
產(chǎn)品特點及技術參數(shù): 產(chǎn)品特點:本系統(tǒng)根據(jù)芯片鍵合應用的需要進行設計,細節(jié)方面更適合于芯片鍵合領域的使用特點。系統(tǒng)已在眾多進行微流控芯片研發(fā)生產(chǎn)的科研院所及企業(yè)得到應用,技術成熟,運行穩(wěn)定。
PTL真空等離子系統(tǒng)致力于為航空航天、汽車工業(yè)、半導體制造、紡織技術、電子微電子、生物工程、、塑料橡膠、科研開發(fā)等行業(yè)客戶提供解決方案,以幫助客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率,同時降低對環(huán)境的不良影響。 PTL的等離子清洗和等離子刻蝕設備。采用先進的集成化技術開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、13.56MHz,以及代表等離子應用先進技術的2.45GHz的等離子清洗機。