三維光學(xué)輪廓儀CONTEBGT-X為實驗室研究和生產(chǎn)過程控制提供了最高性能的非接觸表面測量。結(jié)合十代白光干涉測量(WLI)的創(chuàng)新和設(shè)計，這一計量系統(tǒng)提供了最高的垂直分辨率超過該行業(yè)的最大視野。

主要功能包括完全自動化和生產(chǎn)接口，大型電動XYZ級，頭部傾斜/傾斜，以及一個完整的空氣隔離臺。設(shè)計從地面到最苛刻的研發(fā)，質(zhì)量保證，和過程質(zhì)量控制的需要，三維光學(xué)輪廓儀CONTEBGT-X提供了最終的量具能力的三維光學(xué)精度和穩(wěn)健性。

生產(chǎn)準備設(shè)計與可靠性

三維光學(xué)輪廓儀CONTEBGT-X結(jié)合了Bruker的專利尖端/傾斜頭，專利的自校準激光基準，集成模式識別，以及許多其他專有的干涉測量技術(shù)的創(chuàng)新，以提供非常精確的表面計量和高通量。該系統(tǒng)的自動化配置能夠快速優(yōu)化幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境，其特點包括用于增強X、Y、Z晶圓放置精度的空氣臺穩(wěn)定器套件和用于集成PDU、EMO和真空系統(tǒng)，以及為自動加載端效器兼容性而修改的真空卡盤。

高精度高分辨率成像

三維光學(xué)輪廓儀CONTEBGT-X機動XY舞臺提供12英寸編碼運動在X和Y方向.該平臺支持自動化例程，例如多點數(shù)據(jù)收集，以及用于大面積分析的拼接功能。0.5微米編碼器提供可靠、可重復(fù)的自動化和樣品定位。示例定位通過直觀的操縱桿和軟件界面控件為操作者提供了方便。

直觀曲面測量與分析軟件

Bruker的Vision64操作和分析軟件提供了業(yè)界最實用和最精簡的圖形用戶界面，將智能體系結(jié)構(gòu)與直觀的可視化工作流和用戶定義的廣泛自動化功能結(jié)合在一起，用于快速和全面的數(shù)據(jù)收集和分析。一個先進的生產(chǎn)接口，允許適應(yīng)幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境和自動化過程的三維光學(xué)輪廓儀CONTEBGT-X。該接口提供了自定義流程工作流、自動映射和負載測量配方的工具。