儀器網(wǎng)>產(chǎn)品中心>測(cè)量計(jì)量?jī)x器>表面測(cè)量?jī)x器>輪廓儀更新時(shí)間：2026-04-14 12:25:02

輪廓儀

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推薦廠商：: 上海納嘉

 杭州雷邁

 布魯克納米表面儀器部

產(chǎn)品分類：: 更多輪廓儀臺(tái)階儀圓度儀/圓柱度儀三維表面形貌儀粗糙度儀其它表面測(cè)量?jī)x器

儀器分類：: 不限接觸式非接觸式

產(chǎn)品產(chǎn)地：: 不限中國(guó)大陸大洋洲歐洲亞洲美洲

廠商性質(zhì)：: 不限自營(yíng) 代理經(jīng)銷

銷售地區(qū)：: 不限售全國(guó) 售本省售本市

產(chǎn)品品牌：

不限
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深圳中圖儀器

美國(guó)狄夫斯高

德國(guó)GBS

上海精科

上海中晨

瑞士Rtec

收起參數(shù)(產(chǎn)地、種類、應(yīng)用領(lǐng)域)

綜合

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售全國(guó)

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德國(guó)布魯克非接觸光學(xué)輪廓儀ContourGT 3D

品牌：德國(guó)布魯克型號(hào)：ContourGT 3D 產(chǎn)地：歐洲德國(guó)

廠商：布魯克納米表面儀器部

簡(jiǎn)介：ContourGT系列結(jié)合先進(jìn)的64位多核操作和分析處理軟件，ZG技術(shù)白光干涉儀（WLI）硬件和前所未有的操作簡(jiǎn)易性，推出歷年來(lái)來(lái)zui先進(jìn)的3D光學(xué)表面輪廓儀系統(tǒng)。
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KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

品牌：美國(guó)Filmetrics 型號(hào)：Profilm3D 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：優(yōu)尼康科技有限公司

簡(jiǎn)介：KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。
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￥1800000

西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx 2

品牌：西班牙Sensofar 型號(hào)：產(chǎn)地：歐洲西班牙

廠商：北京儀光科技有限公司

簡(jiǎn)介：西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx 2是一款多功能、用途廣泛的3D光學(xué)輪廓儀，用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。
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布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-200

品牌：布魯克型號(hào)：ContourX-200 產(chǎn)地：亞洲其它

廠商：冠乾科技（上海）有限公司

簡(jiǎn)介：ContourX- 200光學(xué)輪廓儀完美融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性,可提供一流的快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。該設(shè)備作為可用于計(jì)量的小尺寸系統(tǒng),配置了大視場(chǎng)的5百萬(wàn)像素?cái)z像頭和新型電動(dòng)XY載物臺(tái),可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測(cè)量功能。 1. 超強(qiáng) LED 雙光源，白光和綠光 2. 垂直測(cè)量范圍： 0.1nm 至 10mm；為了保證測(cè)量精確性，全量程閉環(huán)掃描，可連續(xù)測(cè)量0.1nm 到 10mmZ 向起伏樣品，無(wú)需縫合拼接 3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm； 4. RMS 測(cè)量的重復(fù)性：0.01nm； 5. 臺(tái)階高度測(cè)量準(zhǔn)確性：≤0.75%； 6. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性：≤0.1%； 7. 測(cè)量臺(tái)：X-Y 行程 150mm×150mm，自動(dòng)控制；Z 方向最大行程 100mm，自動(dòng)控制; 測(cè)量臺(tái)傾斜俯仰(±6°)； 8. 最大樣品測(cè)試高度：100mm； 9. 采樣點(diǎn)數(shù)：≥1280*960； 10. 真彩色模塊，含彩色 CCD 攝像頭和彩色分析模塊，實(shí)現(xiàn)樣品真彩色三維形貌測(cè)量。 11. 橫向分辨率：≤0.5μm 12. 樣品反射率：<0.05%至 100%； 13. 具備自動(dòng)聚焦功能，自動(dòng)調(diào)光強(qiáng)功能 14. 具有無(wú)縫拼接功能，專利設(shè)計(jì)螺旋拼接，可以提高拼接速度，節(jié)省測(cè)試時(shí)間。 15. 自動(dòng)目鏡切換系統(tǒng)，可選 1x，0.55x, 2x 目鏡（至少選擇一個(gè)鏡頭） 16. 5 孔自動(dòng)物鏡塔臺(tái)（選配） 17. 白光干涉物鏡 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x （至少選擇一個(gè)鏡頭） 18. 真彩色模塊信號(hào)采集系統(tǒng)，分辨率 1280*960 19. 配備超光滑 Si-C 樣品和帶 8um 臺(tái)階樣品
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探針式輪廓儀/臺(tái)階儀Tencor P7 /P17

品牌：KLA 型號(hào)：Tencor P7 /P17 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司
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探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）Alpha-Step D-600

品牌：KLA 型號(hào)：Alpha-Step D-600 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：上海納嘉儀器有限公司

簡(jiǎn)介：Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤(pán)和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。
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NanoSystem NV-3200 非接觸式3D光學(xué)輪廓儀

品牌：型號(hào)：NV-3200 產(chǎn)地：

廠商：杭州雷邁科技有限公司
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輪廓儀

品牌：法國(guó)TRIBOtechnic 型號(hào)：LKY 產(chǎn)地：歐洲法國(guó)

廠商：科睿設(shè)備有限公司

簡(jiǎn)介：通過(guò)無(wú)支架導(dǎo)軌模塊來(lái)完成測(cè)量涂層或基底材料的磨耗速率

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新品推薦: 光學(xué)式輪廓儀Optical Profiler-Zeta-300
Zeta-300支持3D量測(cè)和成像的功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-300具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。; 探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）-P-17
P-17支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。; 探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）-P-7
P-7支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。; 探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）Alpha-Step D-600
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤(pán)和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。; KLA 三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20
?; 探針式輪廓儀/臺(tái)階儀Tencor P7 /P17; PLS-F1000晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；; PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門(mén)測(cè)量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動(dòng)晶圓形貌檢測(cè)及分選機(jī)。