半導(dǎo)體和電子產(chǎn)品的整個(gè)制造過程中均涉及精細(xì)與專用化學(xué)品的使用。由于半導(dǎo)體及其制造的內(nèi)在復(fù)雜性，化學(xué)品供應(yīng)商和現(xiàn)場(chǎng)用戶需要對(duì)這些化學(xué)品中的雜質(zhì)進(jìn)行極其嚴(yán)格的質(zhì)量控制。在這些雜質(zhì)中，無機(jī)污染物會(huì)對(duì)設(shè)備性能產(chǎn)生不利影響，并影響制造工藝的產(chǎn)量。

堿金屬、過渡金屬和準(zhǔn)金屬（如硅）是該行業(yè)中Z常見的無機(jī)污染物。它們可以通過半導(dǎo)體材料擴(kuò)散，并在表面聚集成不同形式的納米級(jí)顆粒。這些顆粒會(huì)在高級(jí)柵極結(jié)構(gòu)中造成缺陷，從而對(duì)性能和產(chǎn)品產(chǎn)量產(chǎn)生負(fù)面影響。隨著對(duì)更小線寬的需求，需要對(duì)工藝化學(xué)品中較低濃度和較小粒度的污染物進(jìn)行檢測(cè)和控制。

硫酸就是這樣一種化學(xué)品，主要用于蝕刻和清洗硅晶片上的有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì)。由于其在該行業(yè)的廣泛適用性，硫酸中的雜質(zhì)分析變得越來越重要，因此需要能夠進(jìn)行超痕量檢測(cè)的儀器。

半導(dǎo)體和電子產(chǎn)品的整個(gè)制造過程中均涉及精細(xì)與專用化學(xué)品的使用。由于半導(dǎo)體及其制造的內(nèi)在復(fù)雜性，化學(xué)品供應(yīng)商和現(xiàn)場(chǎng)用戶需要對(duì)這些化學(xué)品中的雜質(zhì)進(jìn)行極其嚴(yán)格的質(zhì)量控制。在這些雜質(zhì)中，無機(jī)污染物會(huì)對(duì)設(shè)備性能產(chǎn)生不利影響，并影響制造工藝的產(chǎn)量。

堿金屬、過渡金屬和準(zhǔn)金屬（如硅）是該行業(yè)中Z常見的無機(jī)污染物。它們可以通過半導(dǎo)體材料擴(kuò)散，并在表面聚集成不同形式的納米級(jí)顆粒。這些顆粒會(huì)在高級(jí)柵極結(jié)構(gòu)中造成缺陷，從而對(duì)性能和產(chǎn)品產(chǎn)量產(chǎn)生負(fù)面影響。隨著對(duì)更小線寬的需求，需要對(duì)工藝化學(xué)品中較低濃度和較小粒度的污染物進(jìn)行檢測(cè)和控制。

硫酸就是這樣一種化學(xué)品，主要用于蝕刻和清洗硅晶片上的有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì)。由于其在該行業(yè)的廣泛適用性，硫酸中的雜質(zhì)分析變得越來越重要，因此需要能夠進(jìn)行超痕量檢測(cè)的儀器。

NexION? 5000 ICP-MS

NexION? 5000G系列是業(yè)界首 款化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS，由四組四極桿組成，其性能超越了高分辨ICP-MS傳統(tǒng)的三重四極桿技術(shù)，無論是在背景等效濃度還是在檢出限，NexION 5000/5000G系列都有數(shù)量級(jí)上的改善。

第 一組

四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個(gè)基于離子能量的靜電質(zhì)量分析器，對(duì)離子進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦和質(zhì)量篩選，同時(shí)把離子偏轉(zhuǎn)90度以實(shí)現(xiàn)與中性成分和光子分離，導(dǎo)入下一級(jí)四極桿

第二組

為第 一個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至四極桿通用池。它包含長預(yù)四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率<0.3amu

第三組

為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場(chǎng)上唯 一由四極桿構(gòu)成的池技術(shù)，具有動(dòng)態(tài)帶寬質(zhì)量調(diào)諧能力（從而可以對(duì)反應(yīng)進(jìn)行有效的控制），標(biāo)配軸向場(chǎng)技術(shù)（從而可以使用任何所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質(zhì)量選擇器，抑 制池內(nèi)副反應(yīng)的產(chǎn)生，確保所需反應(yīng)的完全，從而徹底消除干擾

第四組

為第二個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至檢測(cè)器。具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率<0.3amu

免維護(hù)的等離子體技術(shù)與第二代融合OmniRing?技術(shù)的三錐接口（TCI）結(jié)合四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（QID）技術(shù)，保證出色的基體耐受性以及儀器長時(shí)間運(yùn)行的穩(wěn)定性

本研究證明了使用配有Syngistix Nano應(yīng)用軟件模塊的NexION? 5000 ICP-MS可對(duì)硫酸進(jìn)行準(zhǔn)確的多元素納米顆粒分析。分析物可在一次分析中使用不同的方法和儀器條件進(jìn)行測(cè)量，而分析物之間無需沖洗。測(cè)定了Si、Fe、Ti、Al、Cr、Ni、Ba和Au等8種元素。NH3和氫氣等反應(yīng)氣體與動(dòng)態(tài)帶寬調(diào)諧功能結(jié)合使用，以在四極桿通用池中產(chǎn)生受控且可靠的反應(yīng)，從而有效地消除干擾。在SiO2納米顆粒分析中，冷等離子體條件與氫氣結(jié)合應(yīng)用可進(jìn)一步降低背景信號(hào)，從而獲得更低的粒度LOD。Si、Au和Fe的NP粒度測(cè)定的準(zhǔn)確度使用經(jīng)認(rèn)證的參比物質(zhì)進(jìn)行驗(yàn)證，顆粒計(jì)數(shù)的準(zhǔn)確度通過稀釋試驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證。

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