擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬(wàn)升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵工具介紹

自從1913年，擴(kuò)散泵被Gaede發(fā)明出來(lái)到現(xiàn)在為止已經(jīng)經(jīng)過(guò)了101年。在這段歲月里技術(shù)上取得的進(jìn)步非常的大。如今生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵抽速已經(jīng)達(dá)到超過(guò)每秒十萬(wàn)升。擴(kuò)散噴射泵的抽速也達(dá)到每秒四萬(wàn)升。在真空應(yīng)用領(lǐng)域中蒸汽流真空泵所起到的作用至關(guān)重要。雖然在高真空領(lǐng)域也有非常多其他種類的抽氣方式能夠工作。然而因?yàn)閿U(kuò)散泵有著較為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，能夠相當(dāng)方便地進(jìn)行操作和維護(hù)。較長(zhǎng)的使用壽命，對(duì)于各種氣體而言，抽氣特性都相當(dāng)好。所以獲得高真空的主要抽氣設(shè)備一直都有它。按照前蘇聯(lián)文獻(xiàn)報(bào)道：這種泵shou先由俄羅斯學(xué)者巴洛維克在1912年在彼得堡物理研究所提出。并且這種泵在1913年被俄羅斯學(xué)者巴甫洛夫用來(lái)進(jìn)行氣體分子碰撞方面的研究工作。通過(guò)幾代人持續(xù)的研究，改進(jìn)以及創(chuàng)新成就了如今的現(xiàn)代擴(kuò)散泵。然而蓋得對(duì)擴(kuò)散泵的貢獻(xiàn)我們不能夠忘掉。