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產(chǎn)品詳情：

上海伯東代理美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 100, 屬于中型規(guī)格柵網(wǎng)離子源. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.

離子束流: >400 mA; 離子動能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 燈絲.

采用雙陰極燈絲和自對準柵網(wǎng).加熱燈絲產(chǎn)生電子, 增強設計輸出高質(zhì)量, 穩(wěn)定的電子流.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 100 技術參數(shù)：

離子源型號	離子源 KDC 100
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>400 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	12 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-20 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	23.5 cm
直徑	19.4 cm
中和器	燈絲

* 可選: 可調(diào)角度的支架

伯東KRI 考夫曼離子源 KDC 100 應用領域：

1.濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

2.輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.離子濺射沉積和多層結構 IBSD

5.離子蝕刻 IBE

KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列應用案例:

1. 伯東 KRI 離子源成功應用于離子濺射鍍膜 (IBSD)

2. 伯東 KRI Gridded 考夫曼離子源用于離子束拋光工藝

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:
上海伯東: 羅小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
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www.hakuto-china.cn                       www.hakuto-vacuum.com.tw

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