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核心參數(shù)

加速電壓：20 V ~ 30 kV
放大倍數(shù)：1 ~ 2,500,000 x
分辨率：0.6 nm@15 kV 1.0 nm@1 kV

為你推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)：

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。

產(chǎn)品詳情：

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差降低了 30%，從而達(dá)到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)。

突破性的分辨能力

機(jī)械中心樣品臺(tái)

*雙減速模式（Duo-Dec）

*快速換樣倉(cāng)
（最大8寸）

高穩(wěn)定性

豐富的擴(kuò)展能力

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場(chǎng)景

高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì)，可搭配整體罩殼設(shè)計(jì)，極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉(cāng)，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

應(yīng)用案例

介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens

陽(yáng)極氧化鋁板 /10 kV/Inlens

芯片/5 kV/BSED-COMP

腎臟切片 /5 kV/BSED-COMP

泡沫鎳/2 kV/ETD-SE

藍(lán)寶石襯底/5 kV/ETD-SE

金顆粒/1 kV/Inlens

光刻膠/2 kV/ETD-SE

磁性粉末/10 kV/Inlens

二氧化硅球/3 kV/ETD-SE

催化劑/1 kV/ETD-SE

波導(dǎo)/1 kV/ETD-SE

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	0.6 nm @ 15 kV，SE
	分辨率	1.0 nm @ 1 kV，SE
	加速電壓	20 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 2,500,000 x
	電子槍類(lèi)型	肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
樣品室	攝像頭	雙攝像頭（光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控）
	樣品臺(tái)行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	樣品臺(tái)行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探測(cè)器和擴(kuò)展	標(biāo)配	鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器（Inlens）
	標(biāo)配	倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器（ETD）
	選配	插入式背散射電子探測(cè)器（BSED）（五分割，可選配）
		插入式掃描透射探測(cè)器（STEM）
		低真空二次電子探測(cè)器（LVD）
		能譜儀（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		樣品交換倉(cāng)（4寸和8寸可選）
		軌跡球&旋鈕板
		雙減速技術(shù)（Duo-Dec）
軟件	語(yǔ)言	中文
	操作系統(tǒng)	Windows
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航，軌跡球（選配）
	圖像記錄	TIFF、JPG、PNG、BMP等
	自動(dòng)功能	自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散

熱點(diǎn)應(yīng)用
儀器儀表
能源
制藥/化妝品
電子/電氣/通訊/半導(dǎo)體

應(yīng)用方案

低壓高分辨！SEM5000X在分子篩研究中的應(yīng)用案例

對(duì)于分子篩來(lái)說(shuō)，其粒度及粒度組成是其重要物理特性參數(shù)，直接影響產(chǎn)品工藝性能和使用性能，尤其是在催化劑研究中，分子篩的晶粒大小、孔道結(jié)構(gòu)和制備條件對(duì)催化劑性能有顯著影響。

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S-4800型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（簡(jiǎn)稱(chēng)S-4800）為日本日立公司于2002年推出的產(chǎn)品。該電鏡的電子發(fā)射源為冷場(chǎng)，物鏡為半浸沒(méi)式。在高加速電壓（15kV）下，S-4800的二次電子圖像分辨率為1 nm，這是目前半浸沒(méi)式冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡所能達(dá)到的最高水平。該電鏡在低加速電壓（1kV）下的二次電子圖像分辨率為2nm，這有利于觀察絕緣或?qū)щ娦圆畹臉悠贰-4800的主要附件為X射線能譜儀。; 二手日立 SEM+EDX 冷場(chǎng)電鏡

二手日立 SEM+EDX 冷場(chǎng)電鏡SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào)，實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè)；結(jié)合選配的STEM探測(cè)器。; 二手日立 SU-8010 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

日立SU-8010是日立高新技術(shù)的SEM的全新品牌，新品牌 "REGULUS系列" 電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1KV時(shí)分辨率較前代機(jī)型提高了約20％。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場(chǎng)電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬(wàn)倍提高到了800萬(wàn)倍。除此之外，為了能更好的應(yīng)對(duì)不同樣品的測(cè)試和保持并發(fā)揮出高性能，還對(duì)用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化。; 二手日本電子 IT-300 掃描電鏡

日本電子掃描電鏡JSM-IT300型是一款高性能，多功能，多用途的鎢燈絲掃描電鏡。顛覆性的前衛(wèi)性外觀設(shè)計(jì)還特別吸引眼球。操作改為觸摸屏控制，簡(jiǎn)單化，從此操作電鏡非常只能化。; 二手日本電子 IT-200掃描電鏡

掃描電子顯微鏡主要用于觀察物體的表面形貌像，除此意外，如果配備能譜分析系統(tǒng)，在進(jìn)行獲得樣品表面像的時(shí)候，還可以對(duì)樣品的某個(gè)定點(diǎn)位置進(jìn)行元素的半定量分析。根據(jù)EDS分析出的元素比例，進(jìn)行擬合處理，可以大概的判斷出樣品是什么類(lèi)型的樣品。; 高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU3900/SU3800 SE Series

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