擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴散泵使用事項

下述為擴散泵的使用注意事項：

1、若在擴散泵正常工作時，真空度突然降低，那么應當shou先對加熱器斷路與否進行檢查，然后再對是否有漏點存在進行檢查。

2、如果新安裝的擴散泵不能夠達到極限真空度，那么應當對密封可靠與否以及裝配正確與否進行檢查。

3、由于前級機械泵變壞后，會對油擴散泵的正常工作產(chǎn)生直接影響，因此在擴散泵工作過程中，應當對前級機械泵的工作情況加以注意。

4、機械泵的極限壓力應當?shù)陀跀U散泵前級壓力一個數(shù)量級為基本要求。

5、需要定期對泵的性能進行檢查，將擴散泵油更換成符合要求的，可以參考使用說明書。

6、擴散泵在加熱前及工作過程中必須使冷卻水保持暢通，在加熱停止以后，必須對泵油已經(jīng)冷卻完全才可以將冷卻水關(guān)閉，具體冷卻到什么溫度才可以將冷卻水關(guān)閉。

7、擴散泵在工作停止時，真空狀態(tài)應當在泵內(nèi)保持，防止大氣放人導致泵油氧化，從而使泵油壽命得以延長。

8、只有擴散泵的前級真空被達到，才可以進行加熱，不然的話，泵油的氧化會加速。

9、干燥、無腐蝕、無灰塵氣體應當被抽。