擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵的演變

隨著我國(guó)科技人深入地研究油擴(kuò)散泵以及對(duì)實(shí)際使用問題的解決，這次過程中慢慢地完善了泵系列的演變。比如，在泵的抽氣速率指標(biāo)可以有一點(diǎn)下降被允許，通過對(duì)泵芯各級(jí)間距的合理調(diào)節(jié)，能夠使泵的高度降低，從而使空間高度減小，于是乎，直腔矮泵就出現(xiàn)了。通過實(shí)踐發(fā)現(xiàn)，在泵口尺寸保持不變的情況下，將泵腔尺寸進(jìn)行增加，平均能夠提高30%甚至50%的抽氣速率。和直腔泵的抽氣速率相比，1200mm的凸腔泵提高了20%，因?yàn)橛兄^為明顯的提su效果，凸腔泵系列化相當(dāng)?shù)目?，并且變成了油擴(kuò)散泵的主流產(chǎn)品，在各類真空應(yīng)用設(shè)備中得到了十分廣泛的應(yīng)用。隨著半導(dǎo)體管行業(yè)的發(fā)展，潔凈真空的要求被提了出來，必須對(duì)泵液返流率進(jìn)行嚴(yán)格的限制，甚至提出無油真空的環(huán)境要求，所以想要問題解決，必須使泵本身的返流率降低并且使防返油裝置得到有效合理的配置。所以凸腔低返油泵系列由此產(chǎn)生，該類泵的泵腔、泵腔的設(shè)計(jì)明顯的不同于凸腔泵，設(shè)計(jì)參數(shù)對(duì)原有的選擇范圍實(shí)現(xiàn)了突破，并不僅是簡(jiǎn)單地往泵腔內(nèi)的結(jié)構(gòu)中放置水冷擋油帽。

根據(jù)實(shí)際情況表面，和預(yù)期的效果相比較，凸腔低返油泵依然存在明顯的差距，改進(jìn)太多需要更進(jìn)一步。油擴(kuò)散泵在1-4e到1-2e帕的范圍的抽氣速率相當(dāng)穩(wěn)定。壓力比1-e帕高時(shí)抽氣速率有著非常大的降幅，形成的拐點(diǎn)相當(dāng)?shù)拿黠@，使得油擴(kuò)散泵與前級(jí)泵之間的銜接不是很好，使得抽氣時(shí)間被延長(zhǎng)了，新生的寬區(qū)域泵在不對(duì)原有的性能指標(biāo)進(jìn)行改變的狀況下，對(duì)泵在高壓力區(qū)域的抽氣速率有所提高，與此同時(shí)，使泵的臨界前級(jí)壓力得到提高，明顯增大了抽氣效率。