擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵，它需要機(jī)械泵作為前級泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵性能質(zhì)量的提高

1、加熱功率需要可以調(diào)節(jié)，需要使泵能夠快速地啟動以及快速地冷卻停止，使設(shè)備的運轉(zhuǎn)率

2、為了便于用戶選用，各種被抽氣體的性能曲線被給出，對一些氣體的壓縮比建議被給出。

3、運行以及故障的診斷和運行采用微機(jī)進(jìn)行控制。

4、需要選擇放氣率質(zhì)量較高以及較小透氣率的橡膠圈置于密封處。

5、各種泵的返油率限定值給出，使得返油率進(jìn)一步降低，使得油擴(kuò)散泵的用途得到擴(kuò)大。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬不高于1到1-5e。相比于其它高真空泵，其有著較高的可靠性以及較低的成本，僅有少數(shù)部件需要維修，運動部件不位于泵內(nèi)。工作中能夠?qū)訜崞鬟M(jìn)行更換。1-9e至1-10eTorr為硅油或聚苯醚的蒸汽壓。在室溫狀態(tài)下，10-10Torr或更低的壓力能夠通過合適的擋板或者阱的使用而獲得。

6、到目前為止，國內(nèi)有許多生產(chǎn)擴(kuò)散泵的廠家，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越做越大，然而卻很少生產(chǎn)小泵。更何況也沒有對泵的全面性能的考核指標(biāo)。

7、泵在結(jié)構(gòu)方面：需要對尺寸進(jìn)行縮小，對重量進(jìn)行降低，使零件的加工精度得到保證，能夠使級數(shù)增加，使在4-e時的抽氣量得以提高，對幾種常用的被抽氣體的抽氣量被給出。

8、對附件進(jìn)行增加。例如對擋油帽，過熱保護(hù)裝置進(jìn)行設(shè)置。監(jiān)控出口壓力。

9、對油量的zui大值和zui小值和耗油量進(jìn)行規(guī)定。需要對油位進(jìn)行觀察來為用戶及時注油提供方便。泵油變質(zhì)情況通過觀察窗進(jìn)行查看從而為及時更換提供便利。

10、將合適的前級泵的容量給出。

返油問題為擴(kuò)散泵的缺點，擋油帽和冷阱及正確操作。其返油率能夠下降到每兩分鐘1-5e毫克/厘米的地步。