擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬(wàn)升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵提升方法

泵油返流造成被抽系統(tǒng)污染為油擴(kuò)散泵zui為致命的缺點(diǎn)。通過(guò)大量的研究?，F(xiàn)代擴(kuò)散泵因?yàn)閾跤兔?、障板和冷阱等的增加措施，從而大大地降低了擴(kuò)散泵的返油率。

一定程度的返流為所有的油擴(kuò)散泵均會(huì)發(fā)生的現(xiàn)象。少量殘余的碳?xì)浠衔餅榉盗鞯臍怏w。返流的來(lái)源分為兩個(gè)不同的性質(zhì)，泵的主要的返流為泵油分子朝向擴(kuò)散泵頂噴咀的上方運(yùn)動(dòng)，被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)構(gòu)成其次要的返流。

為了將主要的返流減小到zui低，需要將鍋爐和噴咀設(shè)計(jì)利用好。將水冷擋油帽設(shè)置于頂噴咀上方。其已經(jīng)變成頂噴咀專用的攔截返油的水冷裝置。因?yàn)槌掷m(xù)地改進(jìn)冷帽結(jié)構(gòu)，大大地降低了主要返流。

對(duì)于水冷擋油帽的利用，除了稍微損失泵的抽速以外，能夠降低返油率。對(duì)于非常多的應(yīng)用場(chǎng)合是被允許的。如果將管道、閥門和彎管附加在系統(tǒng)上，能夠使真空室的返流下降千分之一到十分之一。如果對(duì)水冷式的光學(xué)密閉的障板進(jìn)行利用，能夠?qū)χ饕盗鬟M(jìn)行限制。然而降低泵的抽速大概一半。