可旋轉(zhuǎn)顯微鏡 NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡
WinSPM EDU掃描探針顯微鏡教學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)
電鏡原位原子力 EM-AFM 電鏡原位原子力顯微鏡
電學(xué)原子力 Nano observer 電學(xué)原子力顯微鏡
可旋轉(zhuǎn)顯微鏡 NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡
全自動(dòng)顯微鏡 NX-HDM 全自動(dòng)缺陷檢測(cè)原子力顯微鏡
Park Systems推出NX-3DM全自動(dòng)原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測(cè)量而設(shè)計(jì)。借助XY軸和Z軸立掃描系統(tǒng)和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側(cè)壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來(lái)的挑戰(zhàn)。在True Non-Contact?模式下，XE-3DM可實(shí)現(xiàn)帶有高長(zhǎng)寬比尖端的柔軟光刻膠的無(wú)損測(cè)量。
納米測(cè)量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領(lǐng)域擴(kuò)展到實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中。面對(duì)這一成本挑戰(zhàn)，Park Systems帶來(lái)了工業(yè)級(jí)的原子力顯微鏡解決方案，讓自動(dòng)化測(cè)量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉(zhuǎn)而采用高效、自動(dòng)化且價(jià)格實(shí)惠的3D原子力顯微鏡，進(jìn)一步降低線上工業(yè)制造的測(cè)量成本?，F(xiàn)如今，制造商需要3D信息來(lái)表現(xiàn)溝槽輪廓和側(cè)壁變形異特征，從而準(zhǔn)確找到新設(shè)計(jì)中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了快速的軟硬件更換，使得升級(jí)更為劃算，從而不斷優(yōu)化復(fù)雜并且苛刻的生產(chǎn)質(zhì)量控制測(cè)量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長(zhǎng)至少2倍，進(jìn)一步減少購(gòu)置成本。傳統(tǒng)的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact?模式能夠有效地保護(hù)探針，延長(zhǎng)其使用壽命。
基本技術(shù)
200 mm電動(dòng)XY平臺(tái) | 300 mm電動(dòng)XY平臺(tái) | 電動(dòng)Z平臺(tái) |
行程可達(dá)275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率 | 行程可達(dá)400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率 小于1μm的重現(xiàn)性 | 27 mm Z行程距離 0.08μm 分辨率小于1μm |
Z掃描范圍 | Z掃描噪音 | Z向探針噪音 |
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm | 小于0.05nm | 0.02 nm |
200mm 系統(tǒng) | 300mm 系統(tǒng) | 設(shè)備需求環(huán)境 |
1500mm x980mm x 2050 mm 大約1020kg | 1840mm x 1170 mm x2050 mm 大約 2950 kg | 室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60% |
主要功能
創(chuàng)新的3D測(cè)量方法
側(cè)切和外伸輪廓；臨界尺寸；側(cè)壁粗糙度測(cè)量
工業(yè)界低的噪音
靜電消除系統(tǒng)確保穩(wěn)定的掃描環(huán)境
自動(dòng)測(cè)量控制，提高效率
應(yīng)用
臨界尺寸和側(cè)壁測(cè)量
A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢266次原子力顯微鏡
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已咨詢2185次生物倒置顯微鏡
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已咨詢277次氣相色譜耗材
在納米尺度研究領(lǐng)域，瑞士Nanosurf公司推出的DriveAFM原子力顯微鏡系統(tǒng)代表了當(dāng)前尖端技術(shù)的巔峰之作。通過(guò)光熱激振（CleanDrive）、直驅(qū)掃描（Direct Drive）和全電動(dòng)控制三大核心技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新，DriveAFM徹底解決了傳統(tǒng)AFM在精度、穩(wěn)定性和跨環(huán)境兼容性上的固有瓶頸，為材料科學(xué)和生命科學(xué)研究提供了前所未有的高精度、高穩(wěn)定性的研究平臺(tái)。
FlexAFM是一款高度通用且靈活穩(wěn)定的原子力顯微鏡，適用于物理、材料科學(xué)及生物科學(xué)等領(lǐng)域。它具有穩(wěn)定的常規(guī)材料學(xué)應(yīng)用性能，并能便捷地與倒置光學(xué)顯微鏡集成用于生物研究，或放置在手套箱中研究二維材料。FlexAFM支持多種操作模式和升級(jí)配件，具備高分辨率成像和探索樣品地形的能力，尤其擅長(zhǎng)處理敏感樣品的電氣特性，是全球眾多科研人員的理想選擇。此外，它還能與外部硬件集成，擴(kuò)展研究功能。對(duì)于生命科學(xué)研究，F(xiàn)lexAFM能夠與倒置顯微鏡聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)在液體環(huán)境中的納米材料、生物分子或細(xì)胞研究。結(jié)合流體力學(xué)探針顯微鏡FluidFM技術(shù)，F(xiàn)lexAFM進(jìn)一步解鎖了單細(xì)胞生物學(xué)和納米科學(xué)的新應(yīng)用。
瑞士Nanosurf 原子力顯微鏡，專為工業(yè)級(jí)高精度與超大樣品而設(shè)計(jì)，將科研級(jí)分辨率與工業(yè)兼容性深度融合，成為半導(dǎo)體量產(chǎn)、新材料研發(fā)及跨學(xué)科微觀表征的強(qiáng)有力工具。
表面形貌是許多高科技材料表面的重要特性,其可能低至幾納米,表面粗糙度不到一納米。原子力顯微鏡可以在正常環(huán)境條件下輕松分析這些特征。
Alphacen 300 原子力顯微鏡系統(tǒng)是一種獨(dú)特的 AFM 解決方案，可以輕松處理大型和重型樣品。它具有Flex-Mount掃描頭，采用針尖掃描的設(shè)計(jì)方式，無(wú)論樣品重量如何，都能實(shí)現(xiàn)高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先進(jìn)的 AFM 控制器，可快速精確地控制掃描過(guò)程，穩(wěn)定成像。專用的隔音罩可減少外部噪音和振動(dòng)的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還可以通過(guò)添加額外移動(dòng)軸或旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行更復(fù)雜的定制，滿足您的特定樣品測(cè)試需求。
Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)。
高精度探針針尖變量的亞埃米級(jí)表面粗糙度測(cè)量，晶圓的表面粗糙度對(duì)于確定半導(dǎo)體器件的性能是至關(guān)重要的，對(duì)于先進(jìn)的元件制造商，芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對(duì)晶圓商超平坦表面進(jìn)行更精確的粗糙度控制。
對(duì)于工程師來(lái)說(shuō)，識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級(jí)缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過(guò)程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別，通過(guò)與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測(cè)效率。
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