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核心參數(shù)

最小檢漏率：真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
響應(yīng)時(shí)間：< 1 s

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產(chǎn)品特點(diǎn)：

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時(shí)間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動性強(qiáng)
5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用

產(chǎn)品詳情：

移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國普發(fā) Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時(shí)間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動性強(qiáng)
5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用

上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:

型號	ASM 390	ASM 392	ASM 380 已停產(chǎn)
檢測氣體	4He, 3He, H2
最小檢測漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速	10 l/s	25 l/s, 內(nèi)置2臺分子泵	7 l/s
前級泵抽速	35 m3/h
進(jìn)氣口最大壓力	20 mbar	20 mbar	15 mbar
無校準(zhǔn)的啟動時(shí)間(20°C)	2 min	2 min	< 4.5 min
進(jìn)氣口	DN 40 ISO-KF
響應(yīng)時(shí)間	< 1 s
Interface, 選配	RS-232, I/O, Ethernet
噪音	≤ 55 dB (A)	≤ 55 dB (A)	53 dB (A)
重量	125 kg	130 kg	110 kg
尺寸(LxWxH)	1072 x 455 x 1025 mm	1072 x 455 x 1025 mm	1065 X 455 X 1025 mm

? 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392

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上海伯東: 賈女士

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上海伯東日本原裝進(jìn)口適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實(shí)驗(yàn)室研究的離子蝕刻機(jī), 一般通氬氣 Ar, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點(diǎn)檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.; Atonarp 適用于半導(dǎo)體過程控制在線質(zhì)譜儀 Aston?

Aston? 特性實(shí)時(shí)過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實(shí)時(shí), 可操作的數(shù)據(jù) 采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用可與大批量生產(chǎn)工具完全集成 Aston? 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.