掃描電子顯微鏡 S-3700N
光-電聯(lián)用顯微鏡法（CLEM）系統(tǒng)
發(fā)射掃描電子顯微鏡 ReguluS
場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF-3300
掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15
掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000
掃描電子顯微鏡(SEM)現(xiàn)今已經(jīng)延伸到廣大企業(yè)單位，不僅在學術研究領域，各行各業(yè)均有廣泛應用，與此趨勢相對應，用戶需要觀測和分析的樣品種類也有所擴大。S-3700N的開發(fā)正是完全考慮了上述廣泛的多元化應用的需求，此款產(chǎn)品的標準配置包含一個二次電子檢測器，一個五段分割背散射電子(BSE)探測器和可變壓力(VP)模式。
這就使得絕大部分的樣品觀測，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡必須的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
S-3700N有一個巨大的樣品室，可容納直徑達300 mm和高度達110 mm的樣品。樣品室設置有多種配件端口，可以適應電鏡在當今極其廣泛的應用需求，這些配件包EDX，WDX，EBSD，樣品室監(jiān)視裝置，冷臺等。此款產(chǎn)品的多功能性以及靈活的系統(tǒng)配置，能夠很好地滿足您現(xiàn)今以及未來的各項需求。
特色
特大型的樣品室可裝載最大直徑達300 mm的樣品，還可同時安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達110 mm。
5軸馬達驅動優(yōu)中心傾斜、旋轉、圖像導航系統(tǒng)、樣品臺追蹤、軌跡存儲與中心復位等樣品臺的馬達控制功能一應俱全。
S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設計，這使得操作者經(jīng)過簡單培訓即可操作。
顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實時圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實時信號混合并同時顯示兩個不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。
可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導電樣品。
高靈敏度半導體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。
標準配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件最大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴散泵掃描電子顯微鏡，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
規(guī)格參數(shù)
| 項目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 二次電子分辨率 | 30 kV時，3.0 nm(高真空模式) |
| 3 kV時，10 nm(高真空模式) | ||
| 背散射電子分辨率 | 30 kV時，4.0 nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 - 30 kV | |
| 低真空范圍 | 6 – 270 Pa 圖形菜單 | |
| 圖像移動 | ±50 μm (WD= 10 mm) | |
| 最大樣品尺寸 | Φ300 mm | |
| 樣品臺 | X | 150 mm |
| Y | 110 mm | |
| Z | 5 - 65 mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 觀測區(qū)域 | Φ203 mm(可旋轉) | |
| 最大高度 | 110 mm (WD= 10 mm) | |
| 樣品臺控制 | 計算機控制5軸馬達驅動優(yōu)中心 | |
| 電子光學 | 電子槍 | 預對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 可移動式4孔物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 帶可控4偏壓 | |
| 檢測器 | 埃弗哈特 索恩利二次電子檢測器 | |
| 高靈敏度半導體背散射電子探測器，五分割 | ||
| 分析位置 | WD = 10 mm, 取出角 = 35° | |
| 顯示器 | 控制模式 | 操縱桿，鍵盤和旋鈕 |
| 顯示器 | 19.1英寸液晶平面顯示器(如有更改，恕不另行通知) | |
| 自動合軸 | 自動設定束流，自動合軸 | |
| 自動圖像調整 | 自動聚焦，自動消象散/聚焦，自動調整亮度和對比度 | |
| 存儲圖像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 圖像文件格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏顯示：640 × 480 像素 | ||
| 雙屏顯示：640 × 480 像素 × 2 | ||
| 信號混合模式 | ||
| 真空系統(tǒng) | 操作 | 全自動程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/sec. × 1 | |
| 機械泵 | 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1 | |
| 安全措施 | 斷電保護，漏電保護 | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉，動態(tài)消像散 | |
| 動態(tài)聚焦/傾斜補償功能 | ||
| 自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能 | ||
| 三維動畫維修指南 | ||
| 導航，測量方便，傾斜畫面 | ||
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S-4800型高分辨場發(fā)射掃描電鏡（簡稱S-4800）為日本日立公司于2002年推出的產(chǎn)品。該電鏡的電子發(fā)射源為冷場，物鏡為半浸沒式。在高加速電壓（15kV）下，S-4800的二次電子圖像分辨率為1 nm，這是目前半浸沒式冷場發(fā)射掃描電鏡所能達到的最高水平。該電鏡在低加速電壓（1kV）下的二次電子圖像分辨率為2nm，這有利于觀察絕緣或導電性差的樣品。S-4800的主要附件為X射線能譜儀。
二手 日立 SEM+EDX 冷場電鏡SU8000系列高分辨場發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測器設計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測；結合選配的STEM探測器。
日立SU-8010是日立高新技術的SEM的全新品牌，新品牌 "REGULUS系列" 電子光學系統(tǒng)進行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1KV時分辨率較前代機型提高了約20％。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了800萬倍。除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化。
日本電子掃描電鏡JSM-IT300型是一款高性能，多功能，多用途的鎢燈絲掃描電鏡。顛覆性的前衛(wèi)性外觀設計還特別吸引眼球。操作改為觸摸屏控制，簡單化，從此操作電鏡非常只能化。
掃描電子顯微鏡主要用于觀察物體的表面形貌像，除此意外，如果配備能譜分析系統(tǒng)，在進行獲得樣品表面像的時候，還可以對樣品的某個定點位置進行元素的半定量分析。根據(jù)EDS分析出的元素比例，進行擬合處理，可以大概的判斷出樣品是什么類型的樣品。
SU3900/SU3800 SE系列作為FE-SEM產(chǎn)品，配置超高分辨率與觀察能力。此系列突破了傳統(tǒng)SEM產(chǎn)品受安裝樣品尺寸與重量的限制，通過簡單的操作即可實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集?？捎糜阡撹F等工業(yè)材料，汽車、航空航天部件等超大、超重樣品的觀察。 此外，SE系列包括4種型號（兩種類型，兩個等級），滿足眾多領域的測試需求。用戶可以根據(jù)實際用途（如微觀結構控制：用于改善電子元件、半導體等材料的功能和性能；異物、缺陷分析：用于提高產(chǎn)品品質）選擇適合的產(chǎn)品。
德國Zeiss 場發(fā)射電子顯微鏡SIGMA 300 ，ZLGemini鏡筒，超高的束流穩(wěn)定性，超高的束流穩(wěn)定性，zhuo越的低電壓性能，In Lens 探測器，磁性材料高分辨觀察，ding級X射線分析設計，便越操作系統(tǒng)設計，超大空間，多接口，升級靈活。
德Zeiss 電子束直寫儀 Sigma SEM，利用曝光抗蝕劑，采用電子束直接曝光，可在各種襯底材料表面直寫各種圖形，圖形結構（Z小線寬為10nm），是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要工具。廣泛應用于納米器件，光子晶體，低維半導體等前沿領域。
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