顯示器薄膜測(cè)量?jī)x*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無(wú)損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

顯示器薄膜測(cè)量?jī)x*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

FR-InLine 是一款模塊化可擴(kuò)展的在線薄膜厚度測(cè)量?jī)x（膜厚儀），可進(jìn)行在線非接觸測(cè)量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。

Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)xFR-pRo是一個(gè)模塊化和可擴(kuò)展平臺(tái)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。

硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)，用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測(cè)量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通...

FR-uProbe-LC: 可測(cè)量小至幾微米的光斑尺寸應(yīng)用，例如微圖案表面、高粗糙度表面的樣品等等只需單擊鼠標(biāo)即可在 Vis/NIR波長(zhǎng)范圍中測(cè)量微小區(qū)域薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、反射率、透射率和吸光度。

FR-Mic 多層膜厚度測(cè)試儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個(gè)微米，進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。