UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；

UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊。

系統(tǒng)用于磨片、拋光等前道工藝流程中的晶圓尺寸及形貌檢測，包括TTV，Bow，Warp，TIR等參數(shù)，可覆蓋4寸-12寸任何材質(zhì)晶圓的關鍵尺寸檢測，精度達國際水平，產(chǎn)能和經(jīng)濟效益遠超國內(nèi)外產(chǎn)品。

系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術的多傳感器融合測量技術，是國內(nèi)可以實現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

分析磁膜性能對磁傳感器的設計和生產(chǎn)至關重要，WLA-3000自動晶圓液位分析儀可以與各種行業(yè)標準的自動晶圓探針集成，以表征成品器件或測試結(jié)果（包括橋接配置）的磁性能。

分析磁性薄膜和傳感器的性能對磁性傳感器的設計和生產(chǎn)至關重要，ISI的WLA-5000磁性傳感器分析儀結(jié)合了ISI專有的測量電子設備、電源、探針卡、控制器和磁鐵，非常適合執(zhí)行這項任務。

SHB自1976年以來，Instruments一直在生產(chǎn)一系列行業(yè)主導的磁性測量系統(tǒng)。與其他競爭產(chǎn)品不同的是，臺面系列采用最新的全數(shù)字電路和信號處理技術進行測量。

光學粗糙度測試儀WaferMaster WM 300 不像傳統(tǒng)輪廓儀需要長時間的垂直高度掃描加上水平拼接以得到3D的表面輪廓進行耗時粗糙度計算。利用角分辨光散射技術測量晶圓表面梯度角計算的粗糙度，以每...

OptoScan 600是一款光學粗糙度測試儀，主要用于檢測晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

PhaseCam 4030是一款緊湊、輕便的動態(tài)激光干涉儀，具有用于光學和光學系統(tǒng)測量的簡單手動控制。

PhaseCam 6010是一款緊湊、動態(tài)的激光干涉儀，工作波長632.8nm，包含一個帶全電動控制的400萬像素相機。 這種Twyman Green具有軸上照明和成像功能，是長半徑米級凹面光路測量...

微波等離子清洗機是一種利用微波和等離子技術進行清洗的設備。它通過產(chǎn)生微波能量，并將其引入封閉的清洗室中，使液體在高溫和壓力下形成等離子體。這些等離子體具有強大的清洗能力，可以有效去除污垢、油脂、細菌和...

iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測設備，利用STI的2D/3D視覺檢測系統(tǒng)，采用雙2D Camera同時采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷；True 3D技術，可以精確量測Bumping高度，Bump...