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晶圓形貌和參數(shù)檢測

 
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PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機
  • 品牌：Opto Alignment
  • 型號：PLS-F1000
  • 產(chǎn)地：歐洲 德國

    • 晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶...

PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機
  • 品牌：Opto Alignment
  • 型號：PLS-F1000/F1002
  • 產(chǎn)地：歐洲 德國

    • 晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。

PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機
  • 品牌：Opto Alignment
  • 型號：PLS-F1002
  • 產(chǎn)地：歐洲 德國

    • 晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、...