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岱美儀器技術服務(上海)有限公司
主營產品:晶圓鍵合機、光刻機,納米壓印設備,隔振臺,膜厚儀、超薄晶圓處理設備
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UV-NIL/SmartNIL紫外壓印

 
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EVG620 NT掩模對準光刻機系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG620
  • 產地:歐洲 奧地利
  • EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著稱,在蕞小的占位面積上結合了先進的對準功能和蕞優(yōu)化的總體擁有成本,提供了優(yōu)于其他品牌的掩模對準技術。它是光學雙面光刻的理想工具,可提供半自動或自動配置以及可選...

EVG610納米壓印光刻系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG610
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 納米壓印支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。

EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG6200
  • 產地:歐洲 奧地利
  • EVG6200 NT以其自動化靈活性和可靠性而著稱,可在最小的占位面積上提供了優(yōu)于其他品牌的掩模對準技術,并具有最高的產能,先進的對準功能和優(yōu)化的總擁有成本。操作員友好型軟件,最短的掩模和工具更換時間...

HERCULES量產型光刻機系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:HERCULES
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 光刻機Track系統(tǒng)通過集成的生產系統(tǒng)和結合掩模對準和曝光以及集成的預處理和后處理的高度自動化功能,完善了EVG光刻機產品系列。HERCULES光刻機Track系統(tǒng)基于模塊化平臺,將EVG已建立的光學...

EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG7300
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 多功能EVG7300 UV納米壓印光刻系統(tǒng)可以支持多種相關的UV工藝:SmartNIL,晶圓級光學(WLO)和堆疊-三種功能合并在一個靈活的工具中

EVG720自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG720
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 長達 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術。

Filmetrics 膜厚儀 薄膜厚度測量儀 F20 F30 F40 F50 F60
  • 品牌:美國Filmetrics
  • 型號:F20 F30 F40 F50 F60
  • 產地:美洲 美國
  • 美國 Filmetrics 公司生產的薄膜厚度測量儀測量精度達到埃級的分辯率,測量迅速,操作簡單,界面友好,是目前市場上zui具性價比的薄膜厚度測量設備。設備光譜測量范圍從近紅外到紫外線,波長范圍從2...

UV-NIL/SmartNIL紫外壓印

 
膜厚測量儀